なかのにっき
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hns - 日記自動生成システム - Version 2.19.5
珍しく誰もいない日曜日。
14:00 に来たのだが、つい 2h ほど寝てしまう。
#2
[labo] Cu/In XPS
というわけで 17:00 から。
(後日補完予定)
サブチャンバーのベーキングが終了したのは朝の 5:50。
@
補完 (7/24):
といっても蒸発源にチャージしただけか。
In がだいぶ落ちちゃって、
まん中に素通しの穴が開いてしまったが、
そのまま 7/24 に使った結果、問題なく必要な厚さがつけられた。
で sub chamber のセットアップをして 2:00 に evac start。
1h で Mo 基板を分析室に入れたが、ちょっと圧力が上がり目できつかった。
その後 2h、50V で焼いて終了。50V でちょうどいいみたいね。
途中 20:00 から抜けだして市民体育館へ。
f200,b200,w200 を 3 セット。
bp 136/79, hr 116
以上、1 日分です。
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中野武雄 (NAKANO, Takeo) <nakano@st.seikei.ac.jp>
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