なかのにっき

最新版はこちら。 突っ込みは各日付の BBS エントリのほか、 メール (nakano@st.seikei.ac.jp) や フォーム からどうぞ。 なおスパム除けのため、BBS 機能には 緩い認証を入れて います。 検索エンジンから来た方は、エンジンの方のキャッシュを見るか、 下の簡易検索を試してみてください。


hns - 日記自動生成システム - Version 2.19.5

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詳しくは 詳細指定/ヘルプを参照して下さい
検索式:

2004年08月01日() [n年日記]

#1 神事

母方の祖母の十年祭@多磨霊園
久々に一族集合。しかし暑かった。
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2004年08月02日(月) [n年日記]

#1 行き

原付。起床時の気温はそれほど高くなかったが、 どピーカンなので気温は上がることでせう。

#2 [dept] 試験監督

今日で学部全体の試験がおしまい。

予備:

お声はかからなかったようだ。

3 限:物理情報工学演習I:

佐々木先生担当の1年の必修課目。 受験態度の悪い学生がちらほら。

#3 [labo] バキュームプロダクツ

大橋さんから TEL、ブツが揃ったとのこと。 車でないと厳しいようなので、 駐車場利用の申請に本館まで。暑い。

#4 [labo] 小泉機器工業

RP 排気用の三叉分枝を発注。折り返し電話、価格は 3801 円、 到着は水曜午前、電話してから取りにいくこと (0422-51-0411)。 担当はコダマさん。

#5 [URL] 素晴らしきハッカー ---Great Hackers---

yomoyomo さんのところから。
ハッカーについてだけ特有な資質というのはあるだろうか。何人かの友人に尋ねてみた。最初にあがって来る答えは、好奇心だった。賢い人はみな、好奇心が強いと私は思っている。 好奇心は単に知識の一階微分だからだ。 それでも、ハッカーはとりわけ好奇心が強いようだ。特に、ものが動くしくみに関しては。ある意味それは当然かもしれない。プログラムというもの自体、実質的に、ものが動くしくみの巨大な記述だからだ。
というあたりが琴線に触れた。

#6 やさしく名刺ファイリング

木曜日 に発注していたのが到着。 OCR 認識の出来は結構良い。訂正する必要があるのは、入力の 10% くらいかな。 これなら最初から自分で入力するよりは読ませよう、という気になるレベル。 15 枚ほど入力してみたが、慣れたら 1 枚 2 分弱でいけるかな。 データの使い回しもいけそうだし、なかなかよいかも。

欠点は、名前の読みが半角カナではいること、 データを (少なくとも samba の) ネットワークドライブには置けないこと。 これらはかなーりのマイナスポイントだが、 でも現時点では差し引きで買って良かったと思っている。

#7 帰り

原付。 行きの途中でコンビニ寄ったときに財布がないことに気付いていたのだが、 家にもみあたらん。落としたかな…中身は現金とポイントカードだけだけど…
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2004年08月03日(火) [n年日記]

#1 行き

車。バキュームプロダクツに寄ってできあがった部品をもらってくる。
TODO, スパッタガンの成膜速度特性を連絡のこと。

#2 「自爆」の英単語メモしたら拘束 米航空機内で邦人客

関さんのところから。教訓としては、常に辞書を持ち歩け、ということでしょうか(違

#3 [dept] 実験打ち上げ

青柳さんから推薦してもらった八百家というお店を予約。

#4 二郎

学期も終わってすいているだろうと思い、ひさびさにいった。 鈴木先生がいた(笑)。

#5 7-11

フェアのカードを二枚引いて二枚とも当たり。

#6 [labo] サン インストルメンツ 滝上さん

金曜日午後来校の由。分光器のデモ機は 1 week お借りできることになった。

#7 [labo] 差動排気準備

部品集め、ネジ洗浄。 組むのは排気系の部品がくる明日午後にする予定。 バタフライバルブのハンドルが干渉しそうなので、ここも角度を変えないとだめか。 しかしオリフィス系があるので、どう放置するかはちょいと面倒ではあるな。

#8 [issp] abstract submission form

去年使われていたという perl の cgi をいじる。 業者に作ってもらったというだけあって、 割と綺麗に書けていたので楽ちんだった。 到着したメールは mhonarc で web に加工することにした。
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2004年08月04日(水) [n年日記]

#1 帰り

車。最近夜は涼しい。

#2 財布

川崎接骨院から留守電。落とした財布に入っていた診察券のせいで、 武蔵野警察署から電話があったらしい。 こんなことで迷惑をおかけして大変申し訳ない。

接骨院に電話→警察署に電話→受け取り。 現金 (15000 円くらい) はすべて抜かれていた。 原付に乗ってたときに、尻のポケットから落としたんだろうなあ。

拾得者は住所開示を望まない、ということらしく、お礼はなし。

#3 行き

原付。警察署→小泉機器工業→大学。

#4 [labo] 分圧測定装置

多久島くんと、佐藤くんにも手伝ってもらった。 13:15〜15:00 までかかって組みつけ。

排気開始後 1h してリークチェック、ベーキングの準備まで。 測定室は、全圧で 10^-4 Pa 台にはなっているけど。

#5 [book] アフターダーク

amazon だとギリギリ送料無料にならないな… まあ街の本屋でも買えるだろうからいいか。

#6 [dept] 物情実験打ち上げ

八百家にて。料理はすごく美味しかった。日本酒はいま一歩かなあ。 ビールで楽しむ方が良かったような気がする。

栗林先生、佐々木先生、TA のおふたりで軽く二次会に流れ。 ちょっと飲みすぎた。

#7 帰り

吉祥寺まで歩き、電車歩き。 自宅まで 300m のところでにわか雨に襲われ、ずぶ濡れに。
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2004年08月05日(木) [n年日記]

#1 行き

バス電車バス。曇りだが蒸し暑い。 ありゃ、 床磨きは今日だった のか。

#2 babagw

どうも床磨きのときにリセットされたかどうかしたらしい。 副作用で surf でユーザが拾えなくなり、いくつかメールを drop していた… というわけで surf を NIS の slave にしておいた。

#3 [dept] 停電

夏恒例の法定点検による停電。8/8 9-19。

#4 [labo] 分圧測定

11:20 で TP 2x10^-4 Pa くらい。11:20〜13:20 で bake, 14:00 から冷却水循環開始。

16:00 から多久島くんに測定の operation を依頼。 だいたいの時定数τをみつもってみると、 容積 V=6 litter、ガス流量 F = 10 sccm 〜16 Pa litter/s、 平衡圧力 P = 5 Pa とすると、排気速度 Sp として

というわけで、だいたい 2s くらい。んで圧力に比例、と。

結果を整理してもらったが、どうも H2O の信号が異常に大きい。 特にガス導入時に比例して大きくなるのがアレなので、 Chart モードを使って mass の校正をしてみた。結果。
CH mass D/A
1  2    67
2  18   635
3  28   985
4  40  1402
せっかくだから 32 と 40 でやろうと思ったのだが、 チャネル間は 10 以上離れていないと駄目らしい。

校正後はガス導入時にも H2O の分圧はほぼ出なくなったので、 これで大丈夫だろう。

久々にケーブル作ったり、オシロ引っ張り出してきたりで大変だった。 とかやってたら 11:00 過ぎに佐藤くんが来たり。

#5 サン・インスツルメント 滝上さん

明日 14:30 来校の由。
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2004年08月06日(金) [n年日記]

#1 帰り

原付。蒸し暑い。

#2 行き

原付。暑いが、空気自体は乾燥している? 昨日作業してて工具探しにイライラしたので、 ケーヨーでいろいろ買い込む。

#3 [labo] 分圧測定

多久島くんに依頼。 結果を見せてもらった。 ふむ、H2O は問題ないレベルになっているが、 混ぜたときに Ar のシグナルが落ちるのは何故だろう?

オリフィスを 0.4φ のやつに交換して 16:35 より排気。

ぐう、オリフィスのフランジでリークが出て余分な手間が。 結局 2 回 break して 22:20 からベーキング。ううう、はらへった。

24:20 終了。

#4 サン・インスツルメント

15:00 ちょい前に来室、デモ機の lecture を受ける。 露光タイミングのため USB 2.0 必須。 これで O のシグナルが見えたらまあ購入確定だな。 あとは測定のタイミング調整とかをどうするかくらい。

返却は 8/16。また午後 2〜3 時に来てくださるとの由。

#5 NTS 試読

「表面科学の基礎と応用」は購入の方向で。

#6 [paper] Pumping intensity dependent surface charge accumulation and redshifted microphotoluminescence of silicon-implanted quartz

SiO2 matrix 中の n-Si のフォトルミのピーク波長が、 励起光の強度によってシフトする (量子シュタルク効果) のだ、という話。He-Cd のレーザを 2.5um 系に絞っているらしいが、 300 kW/cm^2 っていうと、50 mW か。ごつそうだ。

#7 [labo] 伝票

処理。先月末は出張でバタバタだったので、実質二箇月分 溜めてしまっていた。 しかし紀伊国屋でノート買ったときの伝票が見当たらない…

#8 [labo] シュルツゲージ (LG-11S) の比感度係数

Ar が 1.48、O2 が 0.51。
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2004年08月07日() [n年日記]

#1 帰り

原付。

#2 夜食

99 ショップで買ったピーマン (8 個入り) を消費するため、 筍の水煮と豚肉の薄切りを買って、豆板醤・甜麺醤・オイスターソースで炒めた。 うまかったが、食後死ぬほど汗かいた。

#3 行き

原付。

#4 [labo] 分圧測定

yet another orifis で。 んっと、Ar を flow させてるときに O2 を入れると Ar 分圧が下がるのは、粘性流領域のせいかなあ。 しかしそれだと conductance は大きくなるから、 なんとなく flow は大きくなりそうな気がするが…

あと、どうも O2 雰囲気だと Schulz ゲージの読みに なんらかの影響が出てしまうようだ。 O2 導入後ダラダラ示度が上がるのは、どうもそのせいらしい。 このとき分圧測定系の方には変化がない。 逆に O2 を shut した後にも、分圧測定系の示度に変化がないまま、 Schluz の圧力が数分の time const. で下がっていったりする。 しかしなあ、考えられるのは filament の radiation くらいだけど… なんじゃこれ?

#5 停電準備

あらゆる shutdown。 某サーバが落ちてなかったので、自宅にお電話して root の passwd を聞いたり。

#6 帰り

原付。大学の建物の中より外の方が涼しいなあ。

#7 サッカーアジア杯

スポーツニュースで結果だけ見た。おめでとう。
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2004年08月08日() [n年日記]

#1 行き

停電終了をみはからって原付。

#2 電源復帰

babagw でいきなり /dev/hda lost interrupt が。 hdparm のせいでもないし、なんだろ。こないだ落ちてたのと関係あるんやろか。 手動 fsck して reboot、login できなかったので気づいたが、 /var/yp が壊れていた。うーむ、リプレースを考えておいたほうが良いか。

それ以外のサーバは問題なく順調に起動。

1107 室:

XPS 起動、懸案だった RP のオイル交換。 廃オイルはとりあえず入口脇に放置。明日処理。

babagw /dev/hda 死亡:

とかやって帰ってきたら完全に死亡状態。まったく起動しなくなった。 これも今までの実績が悪い IBM Deskstar (IC35L060AVER07-0) だった。ううむ。

10G の disk に交換、woody の install CD から基本システムをインストール。 もう元 disk は bios レベルで認識できなくなったので、 afbackup のテープから /etc とか /var とかを拾い、 ちまちまと手作業で復旧。ううう。

3h ほどでだいたい形になった。 とりあえず NIS/NFS, bind9, dhcp, samba。

反省としては、/boot を保存するなら /lib/modules 以下も、ということ。 まあ config が残っていたから build はできたのだけど。

これ を使って、 apt-get dselect-upgrade。 ぐあ、woody-jp にはもう mnews がない… って sid から src 持ってきて debuild 一発か。 前もそうしたんだったかな。
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2004年08月09日(月) [n年日記]

#1 帰り

原付。気温は低い。さすがにヘロヘロ。

#2 行き

昼まで寝てクソ暑い中で飯を食い、水浴びて原付。
日曜日にもらった 13 個入りモモの箱を抱えて、 学校にいた人達を捕まえて配りまくる。

#3 [labo] 1107 室

換気扇フィルタ交換、オイル廃棄。

#4 [labo] 分光測定準備

3 hawks に出かけて IO データの USB2 カード購入。1600 円。安いね。 差しただけであっさり認識、測定を確認。 サンインスツルメント滝上さんからメールでパラメータファイルも届いていたので、 読み込んで波長表示を確認。

装置はベーキング。

#5 [labo] 分圧測定

土曜日の結果。~/data/04parp/20040807.xls にまとめ。
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2004年08月10日(火) [n年日記]

#1 帰り

原付。まだ暑いには暑いんだけど、 虫の声は秋の雰囲気か。 そういえばもう立秋過ぎてたんだな。

#2 行き

原付。 来る来るという宅配便を待っているうちに出るタイミングを逃がし、 夕方発。うーむ。

#3 [labo] 分光測定

光ファイバーの hold 用にアクリル板に穴開け。 んで 1Pa、4Pa で測ってみた。 という 3 sequence。やはり O2 導入時の Schulz ゲージの挙動が不審だ…

スペクトル自体はちゃんと取れた。 アクリル板だと蛍光灯の透過光を結構拾ってしまうので、 暗くして測定した。 結果的に夜の測定になって良かったのかも(苦笑)

結果をまとめた excel シートは ~/data/04oex/20040811.xls。
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2004年08月11日(水) [n年日記]

#1 帰り

原付。

#2 行き

原付。暑いけど、湿度はやや低いような。

#3 [Windows] spybot

どうも updata を取ってこないな、と思ってたら 1.3 になっていたのか。 37 個ほどの problem を cleanup した。

#4 [book] Postfix 詳解

買わねば。この本が出てくれたなら、 sarge で exim が 4 になることだし *1 postfix に乗り換えてみようかと思う今日この頃。
*1: んでどうも sid で見てる限りだと exim4 の設定ってまた面倒そうだし。

#5 [labo] qcm データ整理

久々に perl script などをいじりつつ、 春の測定のうち応物に使わなかったぶんをマッタリと集計。 parameter matirx にして 5 次元、1000 個以上のファイルがあったので、 なかなか手をつける気にならなかったのだが、それにしてもやるのが遅すぎるな。

XTC で桁溢れが起きたやつについては ここ 注意。+10 ではなく、+(10/16.2*15.74)=+9.716 を足してやると least sq. fit したときの R が良くなる。 どっかで電圧降下が起きてたのか。

とりあえず Al, Mo, Cu の圧力別 T-S dep. を印刷するとこまで。 18 枚。やれやれ。
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2004年08月12日(木) [n年日記]

#1 帰り

原付。

#2 行き

原付。うう生活時間帯が…

#3 [labo] 分光測定

多久島くんにいくつか頼みごとをする。

RF が灯かなかったので、Ar 10 Pa、O2 0〜8sccm の条件で DC 50W で放電させて測定。 結果は ~/data/04oes/20040812.xls

#4 [labo] qcm データ整理

いくつか例外データの処理。とりあえずここまでのところで バキュームプロダクツに fax。

#5 [labo] RF matching box

アートビジネスに頼んでいた分。うーむでかいなこりゃ。

とりあえず繋いで放電するかテスト。
…放電しない。 box の C の変化が SWR に現われない。むー。 L をいじってみるといいのかなあ。

#6 [paper] White light emission from transparent SiO2 glass prepared from nanometer-sized silica particles

SiCl4 を flame で加水分解して作ったパウダー ("fumed silica" というらしい) をプレス、焼成して作ったらしい。
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2004年08月13日(金) [n年日記]

#1 応物

聞きに行くだけになっちゃうけど、先月末に boss に OK もらったので行くことにした。 といわけで宿の予約。+misc/3231。

#2 帰り

原付。連雀通りでタクシーが電柱に正面衝突して大破していた (もう警察は来ていたが)。

#3 時差調整

起きたら夕方。さすがにこのままだとまずいので、 眠れるだけ眠ることにする。
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2004年08月14日() [n年日記]

#1 時差調整

暑かった。 クーラーを28℃設定にして引き籠り。 起きてるあいだはずっと鬼平犯科帳を再読。
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2004年08月15日() [n年日記]

#1 休み

朝方強い雨。のおかげか、たいへん涼しかった。
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2004年08月16日(月) [n年日記]

#1 時差調整

7:00 起床。続くかどうかだが…

#2 行き

晴れてたけど気温はまだ低かったので自転車にしてみた。av. 20.0 km/h。

#3 メール

整理。

#4 [paper] 今日拾った論文

気付かなかったんだけど、AIP からくる Alert Mail の html 版だと、 認証なしで PDF が見られるようだ。うーむすばらしい。gmail 様々。

Role of microstructure in porous silicon gas sensors for NO2:

Electrical conductivity of porous silicon fabricated from heavily doped p-type silicon is very sensitive to NO2, even at concentrations below 100 ppb. However, sensitivity depends strongly on the porous microstructure. The structural difference between sensitive and insensitive samples is independently confirmed by microscopy images and by light scattering behavior. A way to change the structure is by modifying the composition of the electrochemical solution. We have found that best results are achieved using ethanoic solutions with HF concentration levels between 12% and 13%
ふーん。high p dope な sample を低 HF concentration, 50mA/cm^2 くらいで anodise すると、dopant の周りで、かつ dopant を残すかたちで エッチングが進むそうな (ref 10)。

Electron transport in the downstream region of planar unbalanced magnetron discharge:

読むべし。

Optical emission from silicon-based SiO2 islands fabricated by anodic alumina templates:

We have investigated the photoluminescence spectra of silicon-based nanoscale SiO2 islands obtained by anodization of silicon-based aluminum membranes in a 0.3m sulfuric acid solution under a constant voltage of 25 V. Two ultraviolet emission bands were observed at 290 and 370 nm. After annealing the samples in 900 ℃ in O2, the 290 nm band vanishes, but the 370 nm band still exists. We suggest that the 290 nm band originates from optical transition in the E centers in the SiO2 islands according to its annealing behavior. The 370 nm band is considered to be from Al-related luminescence centers, [AlO4]0, because a decrease of intensity of the 370 nm band is in agreement with that of amount of the Al ion impurities located in the SiO2 islands. This work shows a clear understanding of the light-emitting mechanism of silicon-based SiO2 island array. The obtained result can be expected to have important applications in modem optoelectronics.
ふむ。

Crystallite coalescence during film growth based on improved contact mechanics adhesion models:

Intrinsic tensile stress, which can lead to problems in deposited thin films such as cracking, peeling, and delamination, often develops during the early stages of thin film growth. Many attempts have been made to estimate the tensile stress during crystallite coalescence, both experimentally and analytically. Most recently, using a combination of Hertzian contact mechanics and elasticity theory, Freund and Chason applied the Johnson-Kendall-Roberts (JKR) theory to account for adhesion between crystallites under specific conditions. Other existing contact mechanics models that naturally account for adhesion include the improved Derjaguin-Muller-Toporotov and Maugis-Dugdale theories. The objective of this study is to provide useful analytical and numerical techniques based on these contact mechanics theories for a wide range of conditions that accurately approximate the intrinsic tensile stress that develops during crystallite coalescence. As an analytical method, the Maugis-Dugdale model is proposed as a more general alternative to the JKR model. Parameters such as the contact radius and "net" adhesive force are computed as a function of the relative separation between two adjacent crystallites in a thin gold film. Another useful parameter known as the "jump-to-contact" separation is also calculated by the Maugis-Dugdale and JKR models. For comparison to the analytical models, a finite element method is used to simulate the crystallite coalescence problem. The numerical technique is based on a nonlinear surface interaction element developed to approximate van der Waals adhesion, and allows for full-field analysis of stress and displacement in crystallites. Two different boundary conditions are used, for which corresponding contact radius and tensile stress are computed and compared to the analytical results. As a further study, the length scale effect is also investigated by varying the radius of individual crystallites from 20 nm to 300 nm. It is concluded that in order to estimate the average tensile stress accurately using analytical models, the radius of individual crystallites must be large compared to the contact radius. For small length scales, the finite element approach is more appropriate.
island 合体時に生じる tensile stress の model。話はおもろそうだ。

Some calculations for the thickness distribution of large-area high-temperature superconducting film deposited by inverted cylindrical sputtering:

high gas pressure regime の thickness distribution を拡散で扱った話。 まあ reference にはなるかな。

Effect of pressure on dc planar magnetron sputtering of platinum:

50-200 mTorr。

Vacuum deposition of silver island films on chemically modified surfaces:

The silver island films were vacuum deposited at two different evaporation rates on unmodified indium tin oxide substrates and the substrates modified with molecules containing thiol, pyridyl, and fluorocarbon groups. The films were characterized by UV-visible spectroscopy and scanning electron microscopy. Large variations in the structure and thickness of the island films that were observed between substrates were rationalized in terms of different chemical affinity of the surfaces to the silver metal.
以上 gmail に溜ってた alert の分と JVSTA の 2003 issues 1-3 まで。

#5 [labo] サンインスツルメント滝上さん

デモ機を引き取りにこられた。 だいたい納期は 6w、波長域は、二次光が入るかどうかでちょっと面倒さが違うかも、 という感じ。いくつか質問しておいたのをメールで返事してもらえるらしいので、 それを受けて波長決めて発注、という流れか。キャンペーン期間は終わっちゃってる らしいので、価格は 420k になっちゃうらしい。でもまあ充分安いけど。

#6 帰り

自転車 av. 18.0 km/h。あつい。
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2004年08月17日(火) [n年日記]

#1 時差調整

失敗していたようだ。 AM 2:00 起床、8:00 頃出ようと思ったら急激に眠くなり、 そのまま 16:00 まで寝てしまった… 雨が降ってたので出るのも億劫になり、家で拾った論文を眺めることにした。 あかん…
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2004年08月18日(水) [n年日記]

#1 時差調整

しょうがないので地道に後ろの方にずらす方向で。

#2 行き

日が落ちてから原付。
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2004年08月19日(木) [n年日記]

#1 [paper] 今日拾った論文

Infrared surface plasmons in two-dimensional silver nanoparticle arrays in silicon:

SiO2 matrix に Ag island を埋め込んで、形状を TEM でとり、 吸収分光スペクトルとモデルの比較をしたもの。 ATR で見てみても面白いかなあ。

Proton-beam-induced defect levels in CuInSe2 thin-film absorbers: An investigation on nonradiative electron transitions:

欠陥準位を調べるのに、piezoelectric photothermal spectroscopy という方法があるらしい (ref4)。これを proton damage を与えた CIS sample に適用したもの。

Effect of sputtering pressure on residual stress in Ni films using energy-dispersive x-ray diffraction:

0.2-1.4 Pa。0.8 Pa あたりで compr->tensile な典型的振舞い。 しかし 0.2 Pa で bias かけたら、-15〜-150V の全域で tensile になったらしいけど。

Plasma-enhanced chemical vapor deposition of SiO2 from a Si(CH3)3Cl precursor and mixtures Ar/O2 as plasma gas:

O* のピークはやっぱり 777nm のを見てるなあ。

Determination of Ti+-flux and Ar+-flux of ionized physical vapor deposition of titanium from multiscale model calibration with test structures:

比較的単純な MC。実際の trench との比較を行っているところなどは SIMBAD 的か。

Surface morphology and dynamic scaling in growth of iron nitride thin films deposited by dc magnetron sputtering:

α=0.65〜0.39、β=0.53〜0.29 で、ガス中の N2 が多いと小さくなる。 α+α/β=2 という KPX の関係はどれも満たしていたそうな。

Ionic densities and ionization fractions of sputtered titanium in radio frequency magnetron sputtering:

沖村先生の。高圧 (〜数10Pa) だとイオンの割合も結構増えるよ、というもの。

Inorganic electret using SiO2 thin films prepared by radio-frequency magnetron sputtering:

KIT 南先生。とりあえず最適条件。 Si/O 系のスパッタを論文にするとしたら、ref のネタとしては良さそう。

Simplified model for calculating the pressure dependence of a direct current planar magnetron discharge:

Buyle さんは ISSP2003 でも発表されていたような。

Super-smooth indium?tin oxide thin films by negative sputter ion beam technology:

ITO ターゲットの表面に適度かつ継続的に Cs を撒くと、 表面の仕事関数が下がって In とか Ti の negative ion が できやすくなるらしい。ふーん。

というところで JVSTA 2003 issue4 まで。 AVS の proc なのだけど、掲載基準が厳しくなったのか、 本数が昔に比べてだいぶ少ないなあ。

んで issue5 は 50th anniversary だったらしい。よさげな review をいくつか。

Transitioning from the art to the science of thin films: 1964 to 2003:

Green さんの。

Thin film deposition with physical vapor deposition and related technologies:

Rossnagel さんの。

Nucleation theory and the early stages of thin film growth:

Ratsch & Venables。

Impact of plasma processing on integrated circuit technology migration: From 1 μm to 100 nm and beyond:

田地さんの。

Influence of modeling and simulation on the maturation of plasma technology: Feature evolution and reactor design:

Graves & Kushner。

そして issue6 へ。

Measurement of the plasma potential adjacent to the substrate in a midfrequency bipolar pulsed magnetron:

100kHz の pulsed DC sputtering plasma の plasma potential を emissive probe で測定したもの。 20ns の時間分解能を達成したとのこと。回路も載っている。

Spatially resolved mass spectrometric sampling of inductively coupled plasmas using a movable sampling orifice:

む、手法的にはそのものズバリ。

Experimental and computer simulation studies of the "baffled target" reactive sputtering process:

粒子を通し、あるていどコンダクタンスを絞れるバッフルを付けた場合の Berg モデルについて。粒子の transport について、ちょいと気になるが…

#2 [URL] CINDAS LLC

CINDAS LLC provides critically evaluated materials properties databases for thermal, mechanical, electrical, physical and other properties of various materials. We provide CD-ROM and Web-based applications for searching and comparing continually updated data. There are over 600 materials and over 11,000 data sets in the Microelectronics Packaging Materials Database (MPMD) and over 5,000 materials and over 50,000 data sets in the Thermophysical Properties of Matter Database (TPMD). Please try our free demos of the web-based applications of both the MPMD and the TPMD.
yearly license が $1500。うーむ。

#3 [URL] パッチ未適用のWindowsシステム、「生存時間」は約20分――米調査

実感に近いな。最近 global な class C を下流に持ってる gw マシンの iptables ログも 10k attacks/day に近くなってるしなあ。

#4 [labo] ipsio 200

紙の裏表によって給紙エラーが出易かったりそうでなかったりするらしい…

#5 帰り

原付。うひー暑い。溶けそうだ。
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2004年08月20日(金) [n年日記]

#1 行き

原付。すでに日射しは強いが、このくらいの時間ならまだ気温はそれほど。

#2 [ISSP] 仕事

出版契約書の確認、web 投稿 form の確認など。

#3 [labo] Si 基板

切断。残り2枚になったので、 昨年お願いした ワカテックに見積り依頼の fax を送る (Fax2004/Wakatech1.doc)。

#4 [paper] 今日拾った論文

引き続き JVSTA。

Poly (ethylene terephthalate) decomposition process in oxygen plasma; emission spectroscopic and surface analysis for oxygen?plasma reaction:

ポリマーを O2 プラズマに晒して、decompose した species の OES を見ようというもの。 やはり O のピークは 777nm が強いのかな?

Effect of the substrate bias voltage on the physical characteristics of copper films deposited by microwave plasma-assisted sputtering technique:

on Si (100)。圧力は 0.13 Pa と低いけど。XRD, AFM。結構粗いな。 270 nm の膜で 5〜60 nm くらいの RMS っぽいけど。

Determination of titanium temperature and density in a magnetron vapor sputtering device assisted by two microwave coaxial excitation systems:

Doppler broadning の効果を使って温度も求められるというのが面白い。 なんとなく reasonable な値っぽいし (RT〜700K)。

Analytical modeling of rarefied Poiseuille flow in microchannels:

大作。式を追うのはかなーり厳しそうだが。

Modeling of the target surface modification by reactive ion implantation during magnetron sputtering:

The erosion rate of an aluminum target bombarded with Ar+ and O2+ ions was simulated using TRIDYN. An abrupt change of the erosion rate is noticed at a critical mole fraction of O2+ ions. This target behavior can also be described by a simple analytical model showing that the abrupt change finds its origin in an avalanche induced by reaction ion implantation. Indeed, by the reduction of the average sputter yield by compound formation, more reactive ions become implanted into the target as the number of implanted ions depends inversely on the average sputter yield. As such, an avalanche situation can develop which finally results in a completely oxidized target. It is also shown that the critical mole fraction depends linearly on the sputter yield of the target material and that target poisoning induced by ion implantation can result in a hysteresis behavior for the target condition.
ふむ。

Metallic tin reactive sputtering in a mixture Ar-O2: Comparison between an amplified and a classical magnetron discharge:

放電電圧は O2 の増加と共に、一度上がって下がり、また上がっている。
Between 0 and 20%-25%, VD increases with O2. It is explained by a reactive species implantation in the target as proposed by Depla and De Gryse (ref 15). The curves reach a maximum and the VD values decrease dramatically to reach a minimum at 40%. The sharp decrease is attributed to the compound layer formation on the target, which can be correlated to the RD decrease (Fig. 2). Indeed, it is known that the secondary electron emission is higher for an oxide than for the corresponding metal (refs 5 & 6). Consequently, the discharge impedance and the target voltage decrease. Finally, at high %O2 (>40%), the discharge voltage increases due to the change of the gas mixture from a mainly argon atmosphere to a 100% oxygen atmosphere. Indeed, the oxygen molecules can get electrons to produce O2-species in the discharge; consequently the discharge impedance decreases and the target voltage increases.
ということだそうで。ふーむ。

ということで 2004 の issue4 (latest) まで。 あとは検索に頼るか。

Pressure effects in planar magnetron sputter deposition:

古典すな。ref の最初のほうのに良さげ。

#5 [paper] JOIS 検索

あれ、使えない…

#6 SPIN search

"sputter & throwing distance" だと Drusedau さんのやつだけ。 "sputter & thickness uniformity" だと 30 件。ふーむ。

#7 帰り

原付。あつー。

#8

涼しくなった。久々に熱帯夜ではなかったらしい。
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2004年08月21日() [n年日記]

#1 行き

自転車 av. 18.6 km/h。

#2 雑用

#3 [labo] qcm データ整理

先週 の続き。早くやれ。 スクリプトは このとき のやつで。 ただし octave の 例の仕様変更 に注意のこと。

できた。B より R の方が bowing が少ない分綺麗なデータになる傾向があるな… 対数プロットで重みがあるのでそれを大きく拾っちゃうせいか、 T-S dist の領域を変えると結構λが変わっちゃう。うーむ。

#4 帰り

自転車 av. 20.4 km/h。このくらいの気温なら大丈夫なんだがなあ。
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2004年08月22日() [n年日記]

#1 散髪

いった。

#2 曇り

しかし蒸し暑い。

#3 猛叔父

訃報。様子は聞いていたけど…
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2004年08月23日(月) [n年日記]

#1 行き

自転車 av. 20.1 km/h。 たいへん涼しい。 雨模様だが走っているうちは降られなかった。

#2 [linux] skkfep内蔵jvim

せっかく早く出てきたのは良いが、ファイルサーバで afbackup と checksecurity の find が走ってて重くてやってられないので、 migrate のローカルちょっとテスト。一応ビルドはできたけど、 うーん、操作によっては segfault したりするなあ。

#3 [linux] checksecurity

pdumpfs しているところに find を走らせるのはさすがに阿呆なので、
--- checksecurity.conf.oirg     Mon Aug 23 08:42:54 2004
+++ checksecurity.conf  Mon Aug 23 08:44:04 2004
@@ -116,7 +116,8 @@
 # what you're doing if you do this :-).
 # Example:
 # CHECKSECURITY_PATHFILTER="-path /dev/rd* -o -path /var/home/ftp*"
-CHECKSECURITY_PATHFILTER="-false"
+# CHECKSECURITY_PATHFILTER="-false"
+CHECKSECURITY_PATHFILTER="-path /bhome -o -path /home/*home"
 ####
 #
 # Location of setuid file databases. Probably should
のようにした。後者は各年度卒業生の home 用。

#4 [labo] qcm データ処理

どうもナニなので見直し。 やはり cycle 処理がうまくいっていなかったような。 *1 ということで再 try。~/data/04qcm での作業を整理しておく。
[cycle 処理→最小二乗法]
% foreach f ( 03*/*/*[RB]*.dat )
foreach? echo -n $f " " >> all.txt
foreach? cat $f | bin/cycle.pl | bin/leastSQR.m >> all.txt
foreach? end

[振り分け]
% bin/switch.pl all.txt

[減衰長]
% foreach d (Cu Al Mo)
foreach? (cd $d ; ../bin/mkDecay.pl | sh )
foreach? end

[E/C ratio]
% foreach d (Cu Al Mo)
foreach? (cd $d ; ../bin/mkRatio.pl 40; ../bin/mkRatio.pl 60)
foreach? end
やっぱり Al のデータがちょっと変かなあ。 もういっぺん測ってみるか…
*1: いや、そんなことはなかった。うーん。

#5 [Windows] Sleipnir 1.65

updated. メモリリークの fix があったそうで。 otsune さんのとこ から。

#6 [labo] ワカテック

金曜に連絡した Si wafer についての電話。 ということらしい。

結局新規作製を依頼した。納期の返事待ち。

#7 [issp] cgi

やはり外注さんを頼んでちゃんと作りましょ、という方向に。 簡単な仕様を書いてメール。

#8 [labo] 三栄商会

減圧弁の件 を push。確か当時 3w という話だった気がする。

#9 [labo] 分光器

query の返事来た。どうも要領を得ないので メーカーの spec sheet を見てみたところ、まあ min 0.3nm、slit 幅によって 〜10nm、ということらしい。 幅が可変かどうかだけ聞いておくことにする。

#10 帰り

雨が降るということで歩き電車歩き。 吉祥寺で LAOX〜ルーエ〜時計屋〜スタバと梯子。 国分寺あかぎで久々の外食。帰るまで雨は降らなかった…
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2004年08月24日(火) [n年日記]

#1 行き

原付。久々の長袖長ズボン。

#2 [labo] qcm 実験

Al の再実験。やはり Si 酸化物は飛んでたみたいで、壁まわりは干渉色バリバリ、 テスターで触っても絶縁性 (ちょっとこするとすぐ接触が出るけど)。 ちょい長めにプレスパッタしてやらないとだめかな。 電極カバーは磨いて導電性を確保。9:50 より bake。

測ってみた。そうか、plasma に晒されるときの影響で qcm の値はホルダ移動時に offset が出るんだった… 今日 B (center) のシリーズはホルダ移動後 2min ずつ待つようにしたら、 bowing のない綺麗なデータになった。decay len もそれっぽい値に。 しかし 0.5 Pa のを測ってるときに fail したので続きは明日。 あと高圧の方の異常はまだ原因がわからん。 でも測ってた当時、そのくらいのことは考えてなかったかなあ。うーん。

#3 今週の少年サンデー

椎名高志 の集中連載が始まるらしい。読まねば。

#4 [paper] Spatially resolved mass spectrometric sampling of inductively coupled plasmas using a movable sampling orifice

このとき 拾ったやつ。ベーキングの待ち時間に読んでみた。 orifice は 19.5in (495mm) の ceramic tube の 先にあり、64umφ。operating pressure は 6-30 mTorr とかなんだけど、 これだとかなり conductance 的には厳しいような気がするけどなあ。

Ar のみの放電で signal の変化から温度も評価している。 うーん、signal profile から温度を求める sequence がいまいち不明だが… n が MS signal に比例してるって言ってるけど、 p 一定っていう条件がないと T は決まらないんじゃないの?

#5 [labo] 発注品

藤本理化に手袋 Lx3, Mx4。

#6 帰り

自転車 av. 19.5 km/h。また蒸し暑くなった…
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2004年08月25日(水) [n年日記]

#1 自宅待機

今週に入ってからは日が変わる前に寝て 6:00 前に起きているのだが、 今日は車検の依頼をいつもの工場にせんとならんので、それまで洗濯とか掃除とか。 う、雨降ってきた…

#2 行き

バス電車歩き。車検依頼 (いつも車は駐車場から勝手に持っていってもらう)、 吉祥寺ロジャースで電池購入。 昨日帰りがけに買ったアルミフォイルも併せ、大荷物。

#3 絶対可憐チルドレン

立ち読みした。久々の椎名節か。単行本にならんかな。

#4 [labo] qcm 実験

QC を交換して 12:00 からベーク。

16:00 から測定。10, 20, 5 Pa の 100W。 10 Pa では down->up を両方見た。center は 2min intvl, edge は 30sec intvl. 結果はだいたい重なったので、以降は片道のみ記録。

5Pa 測定時、だんだん Schulz gauge の読みが上昇。 あわせて valve を開いて 5Pa を keep したのだが、 QIG の圧力の示度はだんだん下がっていく。はて?

19:00 に終了。はらへった。往復しなければ 1seq 50min くらいか。

#5 [labo] 三栄商会

減圧弁 の件 reply。明日ないし明後日に持ってきてくれるとのこと。

#6 [labo] バキュームプロダクツ

電話、水晶振動子を 1 パック発注。ガンの件について少し話す。

#7 [book] Postfix 詳解

amazon に登場したのですかさず注文。在庫 3 点というところだった :-)

#8 帰り

原付。T シャツだと寒い。
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2004年08月26日(木) [n年日記]

#1 行き

自転車 av. 21.6 km/h。涼しかったので飛ばしたら大汗。

#2 [book] Debian GNU/Linux Expert[デスクトップユーススペシャル]

はてなアンテナで網張ってたら発注可能になったようなのですかさず注文。

#3 [labo] qcm 実験

50W の 6 seq + 100W 1Pa 予定。 8:15 から炊いて 9:00 から測定開始。

14:30 まで。予定通り (というかなんというか) 100W 1Pa で近づけたら 79mm の位置で fail したのでそこまで。

meeting 後にターゲット・振動子交換、ベーキングまでやる予定。

#4 [labo] 注文品 etc。

#5 [labo] 修士 meeting

夏休みが終わる前にということで、現状を話してもらった。 あと一ヶ月で中間発表だもんな。まあもちろん合格ラインは みんな余裕で越えてるけど、さらに良いものを目指して頑張りませう。

終了後飲み会。 というか親戚が送ってきてくれた酒のツマミの消費にご協力いただくかたち。

#6 帰り

自転車。安全運転。 av. は見てない。
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2004年08月27日(金) [n年日記]

#1 行き

原付。家の周りでは朝雨が降っていたのだけど、どうも局地的なものだったらしい。

#2 gmail

ちょっと UI が変わって、Labeling が他の action とメニューの同じレベルになった。 気付かずに ham を spam に登録しちゃったらしく、ちょい recovery にてまどった。 ご注意くださいませ > gmail user

#3 [labo] qcm 実験

一発目でいきなり XTAL FAIL した…切なすぎる…

10:00 からベーク。やれやれ。

14:00 より 5, 10, 20 Pa 50W の 3 seq。疲れた。 ポンプは回しっぱなしにして帰宅。

#4 [URL] 2分で薄膜を結晶化できる技術を広めるためにコンソーシアムを設立

昨日の日刊工業にも載っていた、大崎先生のお仕事。 金原先生も絡んでるらしい。

#5 [labo] 事務諸々

伝票 (ABx2、ケーヨー・ロジャース) 提出、 出張届 (via HRC bud.)。

#6 [labo] 分光器

発注依頼。+misc/3257 以降。

#7 [labo] 藤本理化

サニメント手袋を昼に持ってきていただいた。 その後クリーンノール手袋も切れていることが発覚、別途発注。 申し訳ない。

#8 [labo] Si 切断

佐藤くん藤本くん両方から頼まれたので結構ホネだった。1 miss。うう。

#9 [book] Postfix 詳解

到着。読み始める。

#10 [JM] screen.1

実験の待機時間を利用してボチボチと。CUSTOMIZATION の def* シリーズのところまで来た。 しかし copy のところのタグの汚さは、思わず窓から投げ捨てたくなった…

#11 帰り

原付。ちょい雨がパラパラ。
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2004年08月28日() [n年日記]

#1 行き

原付。寝坊、ちょい雨。

#2 [labo] babagw has been dead

うーむ。reboot したら復帰したが。ログに残ってた最後のタスクは logcheck だった。 やっぱり hda が怪しいのかなあ。出張前に交換しておかないとだめかのう。

#3 qcm 実験

Mo 50W の残り (2, 1, 0.5 Pa) と 100W の 0.5, 1 Pa。 50W は普通に 84mm まで降りたなあ。 100W 0.5 Pa は 74mm まで、1 Pa のとき (もう消費率も結構行ってたので) 自爆覚悟で降ろしたら、やはり 84mm で FAIL した。ふむ。

水晶交換してベーク、20:00 終了。

#4 [linux] disk 移植

これで一応明日まで様子見てみることにする。

#5 帰り

原付。なんだこの気温の低さは。
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2004年08月29日() [n年日記]

#1 行き

原付。雨。寒い。

#2 babagw

順調だったようだ。

#3 [labo] qcm 実験

Mo の 100W の残り。2Pa の 74mm で XTAL FAIL。ふーむ。 ターゲットを交換するかどうかは結果をまとめてから。

大丈夫そうなので Cu へ交換、evac。 Al 50W の dlen だけちょっとおかしいが、 このへんはもうちょい誤差をしっかり見積もらないとダメっぽい。

17:00 より bake、停止を佐藤くんに依頼して帰宅。

#4 帰り

原付。帰りも雨。
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2004年08月30日(月) [n年日記]

#1 午前

なんかグッタリしていたのでゴロゴロしていた。 もう週末を実験で潰すと疲れちゃうのかなあ。

#2 行き

自転車。trip meter の調子が悪くて速度は測れず。

#3 [labo] qcm 実験

Cu の data は割にまともそうだったのだが、 高圧部を一応 check ということで 5, 10, 20 Pa の 50, 100W 計 6 セット。 確かに Cu の場合は偏差が小さい気がする… Ar と質量が近いのが関係しているのかなあ。

あと 10->20 Pa でガクっと deporate が落ちるのはなんでだろうか。 クラスタ形成とか?それとも、decay length が 20Pa で上昇するのは artifact とか error でなくて、何か本質的な意味を持っている?

最後に XTC の test mode で 14.7 Ang/s の膜厚シグナルを発生させ、 08-30calib/calib14.7.dat として保存。あとで較正に使うこと。

#4 帰り

自転車 av. 18.4 km/h。meter は何事もなく動作。なんでだ。
家に着く 5 分前の時点からクソ降り。畜生め。
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2004年08月31日(火) [n年日記]

#1 行き

原付。台風一過で暑くなったが、でも秋の気配。太陽の高度のせいか。

#2 [labo] 分光器

レセプタクルの件で query があったので、 図面 を送信 (+misc/3265)。図面は超整理法ストッカーの 元の位置 (2002/07) に戻した。

#3 明日の切符

吉祥寺まで出て購入。自販機で。

#4 [labo] qcm データ整理

以前の Cu のデータにとりあえず値のみ追加。ふむ。 ratio はほぼ問題なし。 5Pa の decay len データの違いがやや大きい気がするが、 低圧の方が違いが出ちゃうということなのか? まあどっちにしてもエラーバーちゃんと付けてからだなー。

#5 出張準備

ホテルには LAN がある、ということだけど、 一応ダイヤルアップの準備も。
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以上、31 日分です。
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