なかのにっき
最新版はこちら。
突っ込みは各日付の BBS エントリのほか、
メール (nakano@st.seikei.ac.jp) や
フォーム
からどうぞ。
なおスパム除けのため、BBS 機能には
緩い認証を入れて
います。
検索エンジンから来た方は、エンジンの方のキャッシュを見るか、
下の簡易検索を試してみてください。
hns - 日記自動生成システム - Version 2.19.5
昨日の連絡を受けて、ゲージのインターロック設定を見てみる。
設定値は
このとき
のメール (+Order/783) にて教えていただいたのだが、
日記に書いてなかった。
SP1、5.0x10-5Torr
SP2、2.0x10-6Torr
SP3、5.0x10-7Torr
SP4、5.0x10-6Torr
ということらしい。
現場では全て 5E-7 Torr に設定。
無事 survey 測定できることを確認。はてさて。
先方の測定も終わった模様。
一応トランスファーロッドにはグリスを塗っておいた。
仕舞って帰宅。
関谷くんと基板の処理から。13:15 にイントロへ。
13:40 から Ar の導入テスト。
やっぱり H2O のシグナルが出る…
じゃあこれ配管由来じゃないってことかなあ。
その後いつものシーケンスで dc50W のdepo。
Ar 10sccm->1Pa 10min, N2 4sccm 追加 10min, depo 20min。
取り出して次のを入れて今日はおしまい。
#3
[labo] 平和電源吉川さん来研
パルス電源の改造の件について見積もりをお持ちいただく。
大変ありがたい値段だったので、その場で判子押してお願い。
20 に引取りいただき、IVC の後で再生品をお持ちいただく方向で。
低圧力でもう一回やってみる方向でお願い。
こちら
を参考に。デシケーターあたり 500W 5 分半でちょうど良いようだ。
以上、1 日分です。
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中野武雄 (NAKANO, Takeo) <nakano@st.seikei.ac.jp>
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