なかのにっき

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2011年11月24日(木) [n年日記]

#1 行き

車。世田谷に入るまでは空いてたんだが、その後混んだ。

#2 [labo] Ti デポ

10:50 からベーク。電源の CH3 の出力が、ツマミ 0 なのに 105V。 トライアックが死んだかな… CH3 のヒータは、同じ電圧設定の CH4 に移設。負荷的には問題ないんだが。

いや違ったバラトロンの付替のときにヒータ外して 負荷がオープンになってたからだった。あほだ。

そんなわけで 12:20 にベーク終了。 3 限が終わればちょうどいいくらいかな。 このとき は 100 nm 見当で 150 sec ということなので、 今回はその 6 倍 = 900 sec = 15min のデポで。

3 限の後に着けて次の基板を仕込んでベークまで。

#3 [dept] 無機材料プロセシング 8 回目

膜厚分布と成長膜の話。 ほんとうは表面エネルギー、表面張力あたりの話もしたかったけど…

#4 [dept][snap] 液体窒素 MTG

18:00〜18:40 くらい。12 月から新システム。
配布物の後日の議事録は snapped。

ついでに 12-3 の当番表も回ってきてたので snapped。

#5 帰り

車。仙川〜千歳台〜ガス橋。

#6 [dept] 講義準備

物質生命物理の中間試験の採点。はあはあ。

#7 [dept][snap] シラバス作成依頼ほか

1/10〜1/31 まで。 今回は到達目標をちゃんと書け、と。
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中野武雄 (NAKANO, Takeo) <nakano@st.seikei.ac.jp> Since 1999-10-07
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