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BeamV C.L. O.L. PosX PosY ion target 4kV 292 349 +3.2 -1.5 161nA 3.80uA 3kV 310 365 +3.1 -1.0 105nA 2.24uA 2kV 330 403 +4.2 +0.6 57.7nA 1.33uA 1kV 448 462 -0.5 -0.2 23.0nA 0.34uA本体のネジ調整が必要になり、余分な手間を食った。 これは先に ion で全部合わせておいてから、 切り替えて target を測る、という順序が正しかった。