Picture #033 in Sputter Chamber Stage Exchange

033

基板にガイドリングをはめる。中央部がちょっと沈んでいるのがわかるはず。 これが温調ステージの上側。内部・外部の 2 つの O リングでシールする。 接触や真空になるところはきれいにしておく。

ガイドリングは水道ラインのコネクタ部とパイプがキッチリ接触していないと通らない。 特に抜くときは、2 本のパイプをラジオペンチで接近させてやらないと、 先にコネクタの頭が突き当たって尻のほうがちょっと浮く分通らない。