略歴

昭和42年1月18日

東京都生まれ。

昭和60年3月

国立筑波大学付属駒場高校卒業

平成元年3月

東京大学工学部物理工学科卒業（金原研究室）

平成3年3月

東京大学大学院工学系研究科物理工学専攻修了（金原研究室）

平成3年4月

成蹊大学工学部計測数理工学科 (平成13年より 物理情報工学科) に助手として着任
（薄膜・表面物性研究室：馬場　茂 教授）

平成13年12月

博士(工学) (東京大学)

平成17年4月より 物質生命理工学科

平成20年4月より助教

平成26年4月より准教授

薄膜・表面物性研究室を主宰

平成29年4月より教授

現在に至る。

賞罰

平成10年

第5回（1998年秋季）応用物理学会講演奨励賞受賞

平成25年

日本真空学会スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会 部会賞 受賞

平成27年

日本真空学会 第56回 真空に関する連合講演会 優秀ポスター賞 受賞(共同)

学会での活動など

• Linux Conference プログラム委員 (2001-2006)
• 日本真空学会
  • 編集委員会 委員 (2004-2018), 委員長 (2013.4-2015.3)
  • SP 部会 幹事 (2004-2010, 2015-2018)
  • 教育委員会 (旧教育部会) 委員 (2010-2018)
  • 理事 (2013-2018)
  • 2017真空・表面科学合同講演会 プログラム委員長 (2017)
• International Symposium Sputtering and Plasma Processes 実行委員 (2004-)
  • ISSP2005 (8th), ISSP2007 (9th), ISSP2009 (10th) 各実行委員
  • ISSP2011 (11th) 実行副委員長
  • ISSP2013 (12th) 実行委員長
• 日本表面真空学会
  • 協議員 (2018-)
  • SP 部会 (2018-) 副部会長
  • 電子ジャーナル委員会 委員 (2018-)
  • 教育委員会 委員 (2018-)
  • 広報委員会 委員 (2018-)
• 電気学会
  • メタルスパッタプラズマの高度化 調査専門委員会 委員 (2006-2009)
  • 高密度金属プラズマ 調査専門委員会 幹事 (2010-2014)