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研究室主要設備

本研究室では、主として薄膜試料の作製と、その物性評価を行っています。 ここでは、研究室に付属している装置について紹介しています。 一部説明が不十分なものがありますが、追い追い拡充していきたいと 思っています。

研究室外部の方で、利用したい装置がある場合は、 baba@apm.seikei.ac.jp または nakano@apm.seikei.ac.jp までご相談ください。

試料作製装置

  1. 真空蒸着装置
  2. スパッタ製膜装置

汎用測定装置

  1. X 線光電子分光装置
  2. 原子間力顕微鏡
  3. 光学顕微鏡
  4. 近紫外分光光度計
  5. Hall 測定装置

その他の装置

  1. 位置分解型近紫外発光分光装置
  2. 環境調整型スクラッチ試験機
  3. 低速電子線回折装置
  4. 全反射減衰分光装置

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(updated: 1998-07-26)

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