This Page is encoded with Japanese EUC character set.
![[XPS 装置外観]](photo/XPS.gif)
![[試料ホルダ部分]](photo/XPS2.gif)
X 線光電子分光装置 (X-ray Photoelectron Spectroscopy: XPS) です。
![[AFM 装置]](photo/AFM.gif)
![[光学顕微鏡]](photo/MScope.gif)
![[分光計]](photo/Spectro.gif)
薄膜試料の電気特性を Hall 測定によって評価する装置です。 試料には van der Pauw 法のクローバー型形状のものを用いています。
クライオスタットと付属の温度コントローラによって、 室温から液体窒素温度までの領域において、安定した温度条件での測定が 可能になっています。