なかのにっき

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2003年01月20日(月) [n年日記]

#1 [JF] Debian Jigdo mini-HOWTO

リリースされた。

#2 [dept] 試験監督

1 限 物理情報演習第 II:

ねむい。

#3 [labo] Cu-In XPS

今日は 65%。9:30 から。

Ar ボンベのバリアブルリークバルブがフルクローズになっていなかったようで、 いつもの調子で 1 回転〜としていたら MC の圧力を 10^-4 Torr まで上げてしまい、インターロックを落としてビビる。 閉めてポンプその他再起動、10^-9 Torr まで通常のペースで下がったので、 特に問題は無さそうだ。

佐藤君に基板エッチングをまかせて試験監督の続き。

Cu に続いて In depo。最初 cv で上げたらまた成膜速度の振動が出たので、 cc でやってみたら安定した。なんでだろうか。

13:40 から加熱前 depth profile。あとはおまかせ。

17:00 まで測定。 In/Mo がいつもに比べてだいぶ高い。 Mo のシグナルが小さいのかな。

うーん、加熱後の depth profile を見ても、 要するにやたら In が多いような。

10:30 に測定終了。最後 X 線源の循環水の都合で 30 分待機する必要があるのを忘れてた...

#4 [dept] レポート返却

12:10〜12:50。 予想通り時間を間違えていた学生がおり、 明日も部屋をあけることに。やれやれ。

#5 肩コリ

首から左肩にかけて。やばいな、いつもの風邪の予兆のような気がする。
ちょっと寝たら少し良くなった。しかし暫く試験監督があるし、気をつけないと。

#6 [labo] 丸地君来室

所用で東京に出てきた、とのことで寄ってくれた。 いろいろ興味深い話 (特に内容を秘す) を聞く。

#7 [labo] 高城さん来室

i1124 を渡し、 加熱制御電源の仕様 (0〜500℃、0〜500W、2 段分のオープンラック) について話す。見積りを出してくれるということに。 メモリも今日明日入荷とのこと。

#8 [labo] AFM トラブル

ステージ昇降が変だ、という報告を受けて見に行く。 ステージはよくある、ステッピングモーター+ボールねじによる昇降。 通常はソフトウェアの up/down ボタンを押すと動き、離すと止まる。 ところが down ボタンを押すと、 down 方向に本来とは違う遅い回転をし、 ボタンを離しても止まらない、という症状。 ソフトウェア的には停止できない。EIU の電源 off/on と、 Windows ごとのリセットが必要。

ちとばらしてみたが、特におかしなところは見当たらない。 どうもこれは上側のリミットセンサが入ったときの挙動らしい。 上げすぎてボールねじが固く嵌まってしまい、 モーターの回転がギヤの空回りで伝わっていなかったので、 あらゆる動かなくなったのだろう。 手動でネジを下げ、リミットセンサを解除したら無事に復旧した。 (その辺の写真)

明らかにソフトウェアのバグなんだけど、 いまうちにあるハードウェアは古いので ソフトウェアも古いバージョンのしか使えないし、 以前別件で Quesant に聞いたときソースコード残ってないって言ってたから *1 運用でカバーするしかないだろうなあ。 「あまり上まで上げるな」ということで。
*1: ちょっと信じがたいが...

#9 [JM] secure-mcserv.1

XPS 終了手順の待ち時間を利用して訳出。 これで mirrordir は一通り揃った。

#10 貴乃花引退

日記的記録として。
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中野武雄 (NAKANO, Takeo) <nakano@st.seikei.ac.jp> Since 1999-10-07
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