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2003年01月21日(火) [n年日記]

#1 [dept] 試験監督

予備:

8:30 in。ねむい。
お声がかからなかったので 1h ほど寝る。

2 限 量子力学:

近先生の講義。 Druesedau 論文 を持ち込んで、ちと真面目に読み込む。

3 限 日本国憲法:

大教室。いろいろ *1 大変だった。

*1: 詳細は秘す。

#2 [paper] Druesedau 論文孫引き

The analysis of background gas heating in direct current sputtering discharges via particle simulation:

A particle-in-cell/Monte Carlo numerical model has been developed to simulate a direct current discharge self-consistently with the motion and thermalization of both energetic charge-exchange neutrals and sputtered cathode atoms. In the model the charged particle motions are considered in a self-consistent electric field. A one-dimensional glow discharge in Ar has been simulated for the cases of Al and Cu cathode. The background argon gas heating has been predicted, with the temperature rise being larger for the case of Cu cathode which is characterized by a higher sputtering yield than Al. The balance of power input into the gas due to the energetic neutrals, sputtered atoms, and ions is analyzed. The dominant contribution is from energetic neutrals. Comparison of the calculated fluxes of these three species at the cathode surface shows a great contribution of the energetic neutrals into sputtering of the cathode material. The effect of applied voltage has been also investigated. Lastly, the influence of the gas heating on discharge characteristics is discussed.
Srikov さん+南部先生。

Decay length of the pressure dependent deposition rate for magnetron sputtering:

The pressure dependence of the deposition rate for magnetron sputter deposition of various elemental semiconductors and metals was investigated by x-ray measurements on sputtered films and quartz monitor measurements. It was found that for all elements investigated the dependence of the rate on pressure-distance (pd) is well described by Φ=Φ0(1 - e^-cpd)/cpd. The value of c equals the inverse characteristic pressure-distance product (pd)0, which is the characteristics of the exponential decay of rate with pressure for low pressures. The experimental data of (pd)0 vary from 4.6 Pa cm for aluminum to 120 Pa cm for tungsten. It is shown that (pd)0 depend on both material specific properties and process parameters. The material specific properties are mainly the atomic mass and diameter, and the surface binding energy. The process parameters target voltage and power density act via the increase of the mean free path and the reduction of gas density, respectively, on (pd)0. As a first approximation, the characteristic pressure-distance product for argon as sputtering gas is proportional to the product of target atomic mass, average atomic energy and thermal mean free path.
Druesedau の関連論文。

Quantitative study of the thermal transpiration effect in vacuum gauges:

Pressure measurements in the range of low and medium vacuum are conveniently and accurately performed by mechanical instruments which detect pressure-induced deformations. The stability of both calibration and zero setting are considerably improved by operating the transducers at a stabilized elevated temperature. Due to thermal transpiration the temperature difference between transducer and vacuum vessel may cause a pressure difference which depends on the pressure itself, the geometry and surface properties of the interconnection, and also the gas species. In order to determine the vessel pressure, the empirical correction formula of Takaishi and Sensui has proved to be successful. Our accurate measurements reveal for the first time a minor, but systematic failure of this correction procedure. This failure is attributed to an improper application of the formula, i.e., the disregard of the specific surface properties of the interconnection. To overcome this deficiency, we suggest using fitted values for the temperature and diameter which appear in the formula, instead of actual values. By this procedure the systematic deviations are removed, and the Takaishi and Sensui formula allows description of our vessel pressures better than 0.1%.
パイプを通して局所的な圧力を測定するときに重要な論文。

#3 [paper] AIP backfiles

うげ、AIP の online subscription で 1997 以前のフルテキストにアクセスするには extra charge がいるんか。 APL, JAP が $55, RSI が $35。 まあしょうがないか。申込メール (+misc/2359)を aip へ。

#4 図書館

というような わけで久々に図書館に行ってコピー。 ついでに ローマ人の物語 11 巻 の件を push してみたり。

#5 [labo] XPS 蒸発源作り

ドライヤーが見当たらないので佐藤君に買いに行ってもらう。

#6 [labo] Vacuum Products

電話。温調ステージ用の Cu 基板ホルダはできた由。 ケーブルはもうちょい。

#7 [labo] 新スパッタ装置水道ライン

温調ステージに冷却水を通さなければいけないのをすっかり忘れてた。 「3/8" オス - バルブ - 1/4" メス」となるセットが必要 (その辺の写真) 。 明日 VP のついでに横内管財に寄ってみよう。 駄目だったら 小泉機器工業 に注文、と。

#8 [labo] 位置分解 OES 測定プログラム

pmameas にオプションを 3 つ追加。 詳細は マニュアル の §2.3 を参照。

#9 [labo] rmdb

sid で動かなくなって *2hold してあった postgresql を upgrade したら db が消えた。 まあ pg_dump は定期的なものをとってあるので、 いいかげん woody マシンのどれかに移動することにしよう。

ということでとりあえず rwiki に過去の経緯をまとめてみたり。
*2: 実は mod_env が効いてなかっただけのようなのだが。

#10 [proverb] 布団から 出られぬのだと うめく父

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中野武雄 (NAKANO, Takeo) <nakano@st.seikei.ac.jp> Since 1999-10-07
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