なかのにっき

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2003年01月29日(水) [n年日記]

#1 行き

原付。さむい。

#2 [labo] CuIn XPS

8:10 start。 3514Åつけるつもりが、 膜厚モニタ値 2428Å で ran out of In source。 あれー? くそお、朝早く来て実験がうまくいかないと眠気が倍増するぜ。

佐藤君にサブチャンバーを取ってもらったら、 In はまだ蒸発源に残っていた。なぜだー。

ということで In は相当量が付いているのかな、 ということで測定も頼む。悪いことした。

加熱前プロファイルでイオンエッチングができていなかったらしい。 まあしょうがないなあ。経験と思って学んで下さい。

最後引き継いで終了操作。23:45 終了。

#3 [linux] MIFES for Console

ysjj さんのとこから。 一応 woody でも sid でも動いた。 でもいまさら常用する気にはならんかな。
うへ、ホームディレクトリに mi.ini とか作るのか。アホか。

#4 [labo] 写真撮影

工学部パンフのもの。自分は被写体にならなかったので椅子に座って仮眠していた。

#5 [labo] 卒研関係

忙しい。そして眠い。どんどん機嫌が悪くなっていく。

工藤さん:

coaxCT に LP.m を組み込む。 フィルタのところを変えて結果を見てもらえるように指示。

尾崎君:

q_rms256 のラッパを tiger:/usr/local/bin/rms として作る。

中島君:

膜厚モニタを組み込んでベーキング 11:45〜13:15。13:45 に水流して 15:15 スタート予定。

1Pa 100W で 30 min プレスパッタして基板下げようと思ったら、 シャッターが引っかかって開かずに死。 作業前に田中君がシャッター閉まった状態でステージを降ろしてしまって 一度ひん曲がり、曲げ戻してもらったつもりがちゃんと直っていなかった。 うえーん。

とりあえず再度のひん曲げ覚悟で降ろして測ってみる。 距離によって 25〜9 Å/s くらい。なかなか良さそうだ。 一回の測定の間に XTAL の consumption は 2% 上がった。

じゃあ開けようか、と思ったらゲージのフィラメント入れっぱなしだった。 もうダメ。

17:00 に close。17:15 からベーク。

山城さん (+田中君):

積分が負になるので悩んでいたのは、 その前にかかる係数も符号が反転するからであった。 ちうか定数変化法がすぐ浮かばんとは俺もだめだのお。

藤本君:

昨日切れた (これは寿命) シュルツゲージの交換。 自分は切るのヘタなので押しつける。 Si 基板を cut。 最初 8mm 角でいいかと思ったら、 穴のサイズがピッタリ 8mm だったので切断誤差で嵌まる基板多数。やれやれ。 気づいてからは 7.5mm で切ったけど、長手方向には 8 で切っちゃったから、 まだ入らんやつあるかもな...

#6 [labo] 来年度卒研配属

発表されていた。馬場研は 12 名。

#7 [JM] mirrodir pages

リリースにした。そのうち登場。

#8 [labo] VP 電話

そういえば 土曜日の fax の購入品リストにスパッタ装置のシャッターを入れてなかったな、 ということで電話。 一発目、ボケていて boss の部屋の内線にかけてしまい大いに慌てた。 折り返しの電話待ち。

シャッターの件を伝え、 ストック用のシュルツゲージと水晶振動子のセンサを発注。 伝票類は既に郵送済みとのこと。 蒸着装置の仕切り板の切り欠き入れは、1/31 の 10:30 に持っていくことに。

#9 電話

『新井さんはおられますか』
「卒業生にはいますけども」
『(小声で) あれっ』ブチッ...ツーツーツー

死ねクソが。

#10 [JM] procps kill.1

整形後の見てくれのあまりの ugly さにやる気を無くす。 いや、今のやつも (原文から) だいぶ酷いんだけど。 つかオプションの列記にテーブル使うのヤメロ。.TP 使わんかい。
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中野武雄 (NAKANO, Takeo) <nakano@st.seikei.ac.jp> Since 1999-10-07
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