なかのにっき

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2005年03月19日() [n年日記]

#1 帰り

原付。すごい強風。ばんめしを横綱屋で。

#2 行き

原付。風も止んで良い天気。

不思議と例年卒業式の日は天気が良いのだなあ。 ( 2004 , 2003 , 2002 , 2001 , 2000 )

#3 [dept] 学位記授与式

12:40 11:40〜12:05。つつがなく終了。

#4 花粉

今日は尋常じゃなくきつい。 記念写真の撮影にマスクを外して 30 秒立っていただけで、 その後 3h ほど後遺症 (鼻の乾燥・舌のエグ味・目の痒み) に苦しむことに。

#5 [paper] 今日拾った論文 (JAP 97(5,6))

No.5 の alert mail が来なくて No.6 のが二通来た。はて。
読みきれなかった分は月曜に補完。

Time-resolved observation of the change of electrode shape in single discharge: Rapid self-forming of a thin electrode:

油中・大気中の放電加工によって 0.1 mmφの金属ワイヤ (W, Cu) を尖らせる話。 W だと尖るようで、polarity によっても違うらしい。

Diagnostic of the self-healing of metallized polypropylene film by modeling of the broadening emission lines of aluminum emitted by plasma discharge:

ポリプロピレンに Al を着けた金属皮膜コンデンサの self-healing 現象 (breakdown が起こってもアークが自然消失する) において、 アークプラズマの温度を Al 発光線の broadening から見積もった話。 ポリマーにかける pressure (というか応力というか) が大きいと healing の効果は大きくなるのだそうな。ふーん。 各種 broadening に self-absorption の効果も入れて、 温度・密度の評価をしている。

Surface microroughness of ion-beam etched optical surfaces:

amorphous な材料を低エネルギー (〜600eV) のイオンでスパッタすると、 表面のラフネスはむしろ減少する、という話。 Kaufman 型のイオン源で Ar+ 600eV, 1mA/cm^2。 3000 nm ほど掘っても元々 smooth なやつはあまり変わらんよ、 ということらしいけど。 Zerodur っていうのはガラス状の SiO2 なのだそうだが、商標だろうか。 あと絶縁体であるかどうかは結果に影響するだろうか?

Electrical modification in Cu(In,Ga)Se2 thin films by chemical bath deposition process of CdS films:

CIGS 膜の表面ポテンシャルとその処理依存性を KFM によって観察。 GB では work function が低く (=ポテンシャルが高く) なっており、 純水洗浄するとその領域の幅が狭くなり、 さらにアンモニア水で洗ったり CdS depo を simulate した溶液につけると低くなる、とのこと。 それぞれ Na removal、Cu 欠乏による band bending、Cd による Cu 欠乏サイトの filling によるさらなる bending、で説明されている。 後ふたつはあまり確信はなさそうだが。 ところで KFM って current じゃなくてまんま Force で測るのか。ふーん。

Stress evolution during and after sputter deposition of Cu thin films onto Si (100) substrates under various sputtering pressures:

圧力を変えながらスパッタでつけた Cu 膜の応力を in-situ curvature 測定で評価、 あとmicrostructure の FIB SE image, SEM による観察。 最終的につけた 300nm の膜は、 良くある高圧 tensile→低圧 compressive になっているが、 高圧の膜でも、途中 100 nm あたりでぐっと compressive 側に寄っているのが面白い。 なお蒸着膜でも compressive への遷移が見られるそうで、 これは GB や表面の効果で説明されているとのこと。 XPS では Ar は見られず、低圧膜での compressive の起源は recoile implantation だろうとのこと。reference に良し。

Radio frequency sheath formation and excitation around a stepped electrode:

Ar プラズマシースの電場強度を Rydberg state の Stark shift があるときの 2 光子吸収で測定しよう、という話。 これ 。ステップの影響を、高さ、絶縁体/金属、圧力、電圧などを変えつつ議論。 影響が及ぶ領域などは、この手のやつを設計する際に重要か。 ISSP2003 の Economou 先生の invited talk も似たような話だった記憶があるけど。

Low-impedance internal linear inductive antenna for large-area flat panel display plasma processing:

FPD 向け大面積 depo 用の double-comb 型アンテナの評価。 Pohang Univ. の Lee 先生が入っている。

Laser ablation of Cu and plume expansion into 1 atm ambient gas:

1atm He 中での Cu の Laser Ablation prume の 1D モデリング。 Bogaerts さんが入っている。 モデル屋さんはやっぱり大気圧方面の application に流れていっているのかなあ。

Polarity effect of electromigration on kinetics of intermetallic compound formation in Pb-free solder V-groove samples:

Cu 線を Sn-Cu-Ag 系はんだで接続したときの合金形成と current 依存性 (エレクトロマイグレーション) の評価。減るのがあるのはおもしろい。

Heat-affected zone and ablation rate of copper ablated with femtosecond laser:

laser による加熱の影響を受けた領域を Ar エッチングしつつの XRD で評価、 ablation threshold 以下でも以上でも 0.5〜3.5 um くらいの深さまで 部分的に amorph 化する領域ができるらしい。 あと MD の simulation。short pulse なので電子系と格子系に二温度を仮定。 hot electron の緩和過程ってこの辺でも重要になるのだな。

#6 飲み

一次会は吉祥寺一瑳にて、M 3 人、boss、村山くんでスタート。 途中、大工原くん in・村山くん out・田中さん江成さん in、 にて 20:00 過ぎまで。
二次会は吉祥寺ではどうしようもなく三鷹へ移動、boss と田中さんが離脱して 6 名で一文銭。23:00 過ぎまで。
三鷹から自転車で帰宅。東小金井のにんにく屋でラーメン。

一瑳はちょっとお洒落な雰囲気で、 料理もなかなか良い。 それなりの額になってしまうけど。 本来はバーだろうね。 なかなか良いラインアップではあったのだが、 ジントニックくらいでお茶を濁してみたり。

一文銭はどうやら このとき と同じ店のようだが、お店は改装されてたし、もしかして場所も移動したのかな? しかし料理 (刺身・揚げ物・串焼き) もお酒 (大工原くんお薦めの「たんたかたん」という焼酎だけだけど) も大変美味しくて大満足であった。 配膳のお姉さんが不機嫌そうだった、という意見もあったが、そうだったっけ?

今年卒業記念品として頂いたのは各種パズル。 ありがとうございます。
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中野武雄 (NAKANO, Takeo) <nakano@st.seikei.ac.jp> Since 1999-10-07
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