なかのにっき

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hns - 日記自動生成システム - Version 2.19.5

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検索式:

2003年01月21日(火) [n年日記]

#1 [dept] 試験監督

予備:

8:30 in。ねむい。
お声がかからなかったので 1h ほど寝る。

2 限 量子力学:

近先生の講義。 Druesedau 論文 を持ち込んで、ちと真面目に読み込む。

3 限 日本国憲法:

大教室。いろいろ *1 大変だった。

*1: 詳細は秘す。

#2 [paper] Druesedau 論文孫引き

The analysis of background gas heating in direct current sputtering discharges via particle simulation:

A particle-in-cell/Monte Carlo numerical model has been developed to simulate a direct current discharge self-consistently with the motion and thermalization of both energetic charge-exchange neutrals and sputtered cathode atoms. In the model the charged particle motions are considered in a self-consistent electric field. A one-dimensional glow discharge in Ar has been simulated for the cases of Al and Cu cathode. The background argon gas heating has been predicted, with the temperature rise being larger for the case of Cu cathode which is characterized by a higher sputtering yield than Al. The balance of power input into the gas due to the energetic neutrals, sputtered atoms, and ions is analyzed. The dominant contribution is from energetic neutrals. Comparison of the calculated fluxes of these three species at the cathode surface shows a great contribution of the energetic neutrals into sputtering of the cathode material. The effect of applied voltage has been also investigated. Lastly, the influence of the gas heating on discharge characteristics is discussed.
Srikov さん+南部先生。

Decay length of the pressure dependent deposition rate for magnetron sputtering:

The pressure dependence of the deposition rate for magnetron sputter deposition of various elemental semiconductors and metals was investigated by x-ray measurements on sputtered films and quartz monitor measurements. It was found that for all elements investigated the dependence of the rate on pressure-distance (pd) is well described by Φ=Φ0(1 - e^-cpd)/cpd. The value of c equals the inverse characteristic pressure-distance product (pd)0, which is the characteristics of the exponential decay of rate with pressure for low pressures. The experimental data of (pd)0 vary from 4.6 Pa cm for aluminum to 120 Pa cm for tungsten. It is shown that (pd)0 depend on both material specific properties and process parameters. The material specific properties are mainly the atomic mass and diameter, and the surface binding energy. The process parameters target voltage and power density act via the increase of the mean free path and the reduction of gas density, respectively, on (pd)0. As a first approximation, the characteristic pressure-distance product for argon as sputtering gas is proportional to the product of target atomic mass, average atomic energy and thermal mean free path.
Druesedau の関連論文。

Quantitative study of the thermal transpiration effect in vacuum gauges:

Pressure measurements in the range of low and medium vacuum are conveniently and accurately performed by mechanical instruments which detect pressure-induced deformations. The stability of both calibration and zero setting are considerably improved by operating the transducers at a stabilized elevated temperature. Due to thermal transpiration the temperature difference between transducer and vacuum vessel may cause a pressure difference which depends on the pressure itself, the geometry and surface properties of the interconnection, and also the gas species. In order to determine the vessel pressure, the empirical correction formula of Takaishi and Sensui has proved to be successful. Our accurate measurements reveal for the first time a minor, but systematic failure of this correction procedure. This failure is attributed to an improper application of the formula, i.e., the disregard of the specific surface properties of the interconnection. To overcome this deficiency, we suggest using fitted values for the temperature and diameter which appear in the formula, instead of actual values. By this procedure the systematic deviations are removed, and the Takaishi and Sensui formula allows description of our vessel pressures better than 0.1%.
パイプを通して局所的な圧力を測定するときに重要な論文。

#3 [paper] AIP backfiles

うげ、AIP の online subscription で 1997 以前のフルテキストにアクセスするには extra charge がいるんか。 APL, JAP が $55, RSI が $35。 まあしょうがないか。申込メール (+misc/2359)を aip へ。

#4 図書館

というような わけで久々に図書館に行ってコピー。 ついでに ローマ人の物語 11 巻 の件を push してみたり。

#5 [labo] XPS 蒸発源作り

ドライヤーが見当たらないので佐藤君に買いに行ってもらう。

#6 [labo] Vacuum Products

電話。温調ステージ用の Cu 基板ホルダはできた由。 ケーブルはもうちょい。

#7 [labo] 新スパッタ装置水道ライン

温調ステージに冷却水を通さなければいけないのをすっかり忘れてた。 「3/8" オス - バルブ - 1/4" メス」となるセットが必要 (その辺の写真) 。 明日 VP のついでに横内管財に寄ってみよう。 駄目だったら 小泉機器工業 に注文、と。

#8 [labo] 位置分解 OES 測定プログラム

pmameas にオプションを 3 つ追加。 詳細は マニュアル の §2.3 を参照。

#9 [labo] rmdb

sid で動かなくなって *2hold してあった postgresql を upgrade したら db が消えた。 まあ pg_dump は定期的なものをとってあるので、 いいかげん woody マシンのどれかに移動することにしよう。

ということでとりあえず rwiki に過去の経緯をまとめてみたり。
*2: 実は mod_env が効いてなかっただけのようなのだが。

#10 [proverb] 布団から 出られぬのだと うめく父

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2003年01月22日(水) [n年日記]

#1 [LDP] 1/21 の updates

new HOWTO:

updated HOWTOs:

#2 [labo] お出かけ

バキュームプロダクツ:

Cu ステージ、仕切り板の受け取り。

横内管財:

3/8" アングル、1/4"-3/8" 変換継手、1/4" バルブ を 2 セット。 ゲートバルブなのでちょっとでかい。

#3 [labo] 新スパッタ装置ステージ交換

13:00 から 14:30 までかかってバラし終わる。
15:00 から組立て、17:00 まで。
真空に引いてリークチェック、特に問題なし。

作業手順写真:

各ページに解説つき。

gphoto:

上記でいくつか手順前後があったのでファイルを並べ替えたかったのだが、 ファイル名を変えてもだめだった。 どうやら gphoto は単純にディレクトリエントリの順にファイルを並べるようだ。 ということで新しくディレクトリを掘ってそこにファイルを順番にコピーし、 そのディレクトリを gphoto の作業対象にすれば OK。

#4 [labo] 新スパッタ装置水道配管

温調ステージの冷却配管。 買ってきた金具を尾崎君に取りつけてもらう。 しかしチューブ用の金具は 1/4" ではなく 3/16" だった。うへ。

#5 [labo] AFM 装置メンテ

一昨日 ステージの修理をした後、fast up 時に移動が引っかかるとのことで開けてみる。 ベルトの張り具合を調整、レベルもモーター側とギヤ側であってなかったので調整。
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2003年01月23日(木) [n年日記]

#1

自宅〜国分寺、吉祥寺〜学校をヨロヨロしながら歩く。 朝からとても疲れた。

#2 [dept] 試験監督

2 限 情報通信工学第 I:

電気の桐澤先生の講義。 再履が多いせいでか大教室だったのでお手伝いのかたち。

5 限 薬学概論:

60 分の試験@大教室。 経営と物情の会場を担当。 こないだの 日本国憲法 の試験の時にも感じたのだけど、 今年の物情の 1 年生は試験を受ける態度がとても良くて、 大変好感が持てる。 一緒に監督した教養物理実験の清水さんに聞いてみたら、 実験の時の態度もいいらしい。将来が楽しみ。

#3 [labo] 新スパッタ装置 温調ステージ関連

水道:

VP の大橋さんに電話したら、 実は 3/16" ではなく 1/8" だったことが判明。ダメスギ。 VP に取り置きがあれば、明日行きがけにもらえるようお願いする。 小泉機器工業にも電話して、明日入荷ということなので 6 個頼んでおく。

テスト:

ガラス基板にサーモラベルを貼り付け、加熱・温度測定の配線をして真空引き。

尾崎君に実測を頼んだ。 備えつけの温度計で 130℃、取出して基板を見てみたら 85℃までマークされていた。ううむ、やはり結構違うな。

温調コントローラ:

アートビジネス高城さんから見積りが来たので、 いくつか追加希望を出して返信。 また返信が来たのでその方向でお願いするよう再返信。

#4 [labo] 江成君修論

first draft を見せてもらう。いろいろコメント。 論文のできはかなり期待できそうだ。

#5 [labo] OES 結果解析

C プログラムの gaussian フィッティングエンジンに、 パラメータの動作範囲リミットをオプションとしてつけてみる試み。 1999/06/01 のプログラムか。ヘタだ(笑) まあ Numerical Recipes in C の amoeba.c 用サンプルプログラムを コピって来ている時点で既に絶望的だが。

make が通ったところで終了。 テスト+デバッグは明日。

#6 帰り

正門を出たらバスが前方の五日市街道を通過。 歩いて吉祥寺まで到着したら、東小金井で人身事故とかでダイヤ乱れまくり。 しかも 1 番線と 3 番線のどっちが先発かはっきりせず、右往左往して 3 本も反対車線の電車を見送ることに。ドクダミ光線 *1 を周囲にまき散らしつつ、 国分寺からまだ所々雪の残っている道をヨタヨタと歩いて自宅に帰った。
*1: (c)椎名誠
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2003年01月24日(金) [n年日記]

#1 はてなアンテナ

cgiboy の日記 の更新時刻も取れているようだ。どうやってるんだろ。

#2 [linux] TP600X の HDD

異音が。うひー。 とりあえず /home/nakano を tar で固めて windows マシンへ転送。 cvs のやつは update を確認して -X オプションで exclude。 〆て 66M ほど。 無事転送完了。ふー。 音も止まったけど、さっさと流体軸受の大きいのに交換しよう。

#3 [URL] COOKPAD

レシピサイト。 すごい数。検索にコツがいりそうだ。

#4 バキュームプロダクツ

1/8"-1/4" のブッシをいただき、世間話をして学校へ。 途中郵便局に寄る。

#5 [paper] NEW SWIFTER SWITCHING

Phys. Rev. Focus:
A collaboration of researchers has flipped micron-sized magnets as quickly as their fundamental speed limit will allow. In two papers published in the 10 January print issue of PRL, the researchers describe applying an ultrafast magnetic field pulse to reverse micromagnets almost as fast as the switching of a bit on a Pentium chip. But unlike silicon circuitry, a magnetic switch preserves data without the need for a constant power supply. The work strengthens hopes that fast and efficient magnetic memory could soon replace technology used in mobile phones and digital cameras.
ほー。

#6 [labo] 新スパッタ装置温調ステージ関連

温度コントローラ:

再度見積りを送ってもらったので発注。

水冷取り付け:

ちとプラグが固い。ベーキングのとき外すのが結構大変か。

#7 [paper] order of AIP online backfiles

fax sent, ~/mydoc-win/COMMUN/AIP1.doc

#8 [labo] 到着品

アートビジネスに頼んでおいたメモリ。宅急便にて。

#9 [labo] 買い物

小泉機器工業でブッシング受け取り。 LAOX 吉祥寺店でプリンタのインクカートリッジ。 2.5" の HDD も欲しかったのだが、 T-ZONE 吉祥寺店が閉店処理に入っていてまともなものがなかったので断念。

#10 T-ZONE 吉祥寺店閉店

というわけで 2/2 で閉じるらしい。 不況云々の前に、圧倒的に顧客サービスが悪かったからな。 しかしこれで PC パーツは吉祥寺では買えなくなってしまったのか。

#11 [labo] OES 結果解析

とりあえず gaussfit のバグは取れた。 しかし local minimum に落ち込んでしまうことがあるな。どこだろ。

わかった。initial simplex 作るところで x が 0 になっちゃうことがあんのね。いつものやつか。 適当に場合分けして足すのと掛けるのとにして解決。

以下のようなスクリプトの出力を喰わせてみた。 パラメータをいろいろいじってみたが、 とりあえずそれらしい値に落ち着くようだ。よしよし。
#!/usr/bin/octave -qf
A = 1;
B = 1.3;
C = 345.2;
W = 1.6;
N = 2;

channel = 340:350;
rndGauss  = A * exp(- ( (channel - C) / W).^2) + B + N * rand(size(channel));
[channel; rndGauss]'
行列とスカラーの引き算も期待通り処理してくれる octave って素敵だ。

#12 [dept] 床清掃

定期ワックス掛けが、今回は 2/28 である旨メール (+seikei/945) で連絡が来た。 今回は 3 月中旬からもう工事が入るから、 必要ない旨を業者の方に電話した。 当日不要の旨の掲示をしておくこと。

#13 [linux] GNU Octave - Spceial Utility Matrices

rand() の使い方。 使っている実装は RANLIB か。

#14 [labo] 再度バキュームプロダクツ

膜厚モニタホルダのケーブルが来て、組めたとの電話を受け、 19:30 頃伺って受け取り。 さて発振するか? そのまま直帰。

#15 [book] Perl データマンジング

ツタヤで見かけたので数ページ拾い読み。 意味が取れない文はないけれど、 ちと訳語の選び方に無頓着すぎる気がする。 聞き慣れないカタカナ言葉と妙に難しい漢語が絶妙に混ざり合っていて、 読み続ける気力がかなり削がれる。

#16 [book?] ひめくりあずまんが 2003

予約発注。
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2003年01月25日() [n年日記]

#1 [labo] OES 結果解析

gaussfit のラッパースクリプトを書き直し。作業現場は ~/project/sroep。 できたやつは tiger と film にインストールした。

コマンドライン:

sroep [--directory=DIR] --cc=CENTER_CHANNEL --hw=HALF_WIDTH [--debug]

パラメータ決め:

gaussfit へのパラメータを決めているあたりのルーチンは以下の通り。 $imax と $imin は範囲での最大値と最小値、 $CCH はコマンドラインで与えた中心チャンネル、 $sigma は範囲の各チャンネルにおける標準偏差の最大値。
  my $AI = sprintf "%f", $imax;
  my $AU = sprintf "%f", 2 * $imax;
  my $AL = sprintf "%f", 0.3 * $imax + 0.7 * $imin;

  my $CI = sprintf "%f", $CCH;
  my $CL = sprintf "%f", $CCH - 2;
  my $CU = sprintf "%f", $CCH + 2;

  my $BI = sprintf "%f", $imin;
  my $BL = sprintf "%f", $imin - $sigma;
  my $BU = sprintf "%f", 0.7 * $imax + 0.3 * $imin;

  my $WI = sprintf "%f", 1.5;
  my $WL = sprintf "%f", 0.5;
  my $WU = sprintf "%f", 3.0;
W については決め打ち。

テスト結果:

適当にデータを拾ってきてためしてみたら、 2σを越えて暗電流より信号が小さいデータがやたらたくさんあるのだが... こいつがシャッターを逆にしてたというやつかなあ。

--debug:

オプションの処理には Getopt::Long を使っており、 --debug の処理は
$DEBUG = 0;
$result = GetOptions ("dir=s" => \$DIR,
                      "cc=i"  => \$CCH,
                      "hw=i"  => \$HWC,
                      "debug"  => \$DEBUG);
  :
if ($DEBUG) {もげもげ}
という感じ。

cvs import:

そのまま sroep というモジュール名で。

マニュアル:

セクションを追加して記述。

#2 ものもらい

右目が腫れて 1/4 くらい塞がっている。なんでだ?

寝て起きたが、やはりいまいち。 右上唇にできた口内炎 *1 もあいまって、ほとんど右顔面が麻痺状態である。

あいまって:

「あいあまって」かな?と一瞬迷って辞書を引いた。 「相俟って」らしい。

*1: 寝ぼけながら飯食っていて噛んだ跡。

#3 [labo] 膜厚モニタつきホルダ

本体に取りつける前に、とりあえず接続 (写真) してテスト。無事発振した (証拠写真) 。よしよし。 これでまあ、取りつけて 1〜2 日頑張れば、 一通りの議論ができるデータは取れそうだ。

大橋さんに結果を FAX→Fax2002/Vacuum-Products4.doc

#4 [labo] XPS 実験仕込

ちょうど装置のある部屋からの入搬出の真っ最中らしく、 扉の下部に段差除けのプレートが挟まっており、 鍵が固くなってて開かなかったので今日の作業はあきらめ。 佐藤君に連絡のメール。

#5 [URL] WinLPrt 6.04.10

インストールした。

#6 1434/udp

うちにも来てます→ ログ
MS SQL Server 2000 の穴 (NGS advisory) へのアタックらしい、と gotom HANZUBON 両先生に教えていただいた。なるほど。

/.-jp:

ワームか。ひさびさでんな。

#7 [labo] babagw の samba データ

film にバックアップしていたのだが disk full になってしまったので、 バックアップ先を tiger に変更した。
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2003年01月26日() [n年日記]

#1 [JM] 今日の commit/post

procps の original を 3.1.5 へ。
free.1 を追随してポスト。

#2 [JF] kernel 文書関係作業

2.4.20 を ORIGINAL にインポート、作業を JF-CVS-README に追加。
Configure.help 2.4.20 関係の作業。

#3 ダメ

学校にいく予定にしていたのだが。 右眼ものもらいが治らないせいもあって調子が上がらず、 なんかウダウダ寝たり起きたりしているうちに夜になってしまった。ダメスギ。 やっぱ疲れてたのかなあ。
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2003年01月27日(月) [n年日記]

#1

なんか試験監督の朝に限って雪やら雨やら。

#2 [dept] 試験監督

最後の 2 つは連荘。大変疲れた。

1 限 流体力学第Iおよび演習 A:

機械のお手伝い。必修だそうで受験者がたくさんいた。

2 限 工業材料概論第 II:

化学のお手伝い。これは 160 履修中 52 名。 35 分のダブルヘッダーというやや特殊な試験形態だった。

#3 [labo] AFM ステージのスケール

アクリルの定規を買ってきて φ4.5 の穴を開けてステージにネジ止め。 スケール端からステージ中心線までは 10mm。

#4 [labo] CuIn-XPS 仕込み作業

明日の蒸着に備えて圧力計と膜厚モニタはお持ち帰り。

#5 [labo] サイバネット 松永氏来室

ANSYS の実行環境などについていろいろ聞いてみる。 ライセンスキーの件を push。

#6 [labo] rmdb

無事復旧。.htpasswd で研究室 rwiki と同じパスワードプロテクトをかけておいた。
pg_dump の結果をそのまま食わすと、 別々のユーザでデータベースに connect するため、 ident エラーになってしまう。これどうするのがええんやろ。

#7 [URL] 鈴木商館

高純度ガス、シリコン基板など。 こちら でもシリコン基板の購入先のおすすめになっていた。

#8 人間万才 (再)

1 限から監督連荘その他で疲れたので、さっさと帰ることにした。 今日は吉祥寺経由なので、修論で煮詰まっている (けど今日は早く帰ることにしたらしい) 江成くんを誘って人間万才へ。 醤油らうめん+餃子。 醤油ラーメンは こないだの塩ラーメン よりは好みだが、 ちょっとたまり醤油風味のえぐみが食後に舌に残る感じ。 餃子はとても美味かった。

#9 [book] The Pleasures of Probability

モンティ・ホール ジレンマ の時の八田(ま)さんお勧めの本。到着したので帰りの電車で 件の car-goat problem を扱っている一章だけ読んでみた。 なるほど明解。 話題は各章ごとにまとまってるようなので、ポチポチ読もう。 しかし確率論って、結局解釈が現実に合うかどうかというところが勝負なのだろうか。 してみると数学とは言いつつ結構実験科学に近いのかも。

#10 ごはん冷凍

私は こんなの を愛用してます。 だいたい一回に 2 合炊いて 3〜4 回で食べきるくらい。

あと中華まん用の冷凍ケースも愛用しているのだが、 これはどこのメーカーのなのかな。
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2003年01月28日(火) [n年日記]

#1 [hns] 日記ファイルタイムスタンプ付け直し

いちいち全部舐めるのもなんなので、以下のようにした。 ~/bin/touch-diary として保存。
#!/bin/sh
DIARYDIR=$HOME/text/diary

STARTYEAR=1999
CURRENTYEAR=`date +'%Y'`
YEARS=`seq $STARTYEAR $CURRENTYEAR`

if [ $# -ge 1 ]; then
  YEARS="$@"
fi

TODAY=`date '+%Y%m%d'`

for YD in $YEARS; do
  echo -n touching $YD...
  for F in $DIARYDIR/$YD/d????????.hnf; do
    BN=`basename $F`
    if [ $BN = d$TODAY.hnf ]; then break; fi
    TS=`expr substr $BN 2 8`
    touch -t ${TS}2359 $F
  done
  echo done.
done

#2 [cycle] チャリ登校

2 週間ぶりくらい。なんか目が痒い。 はやくも花粉症か?

#3 [labo] ANSYS ライセンスキー

boss からフォワードされてきた (+lab/2264) のでインストール。

#4 [labo] Cu 蒸着

岡田さんのヘルプ。

#5 [labo] スパッタ装置膜厚モニタ取り付け

こないだ の逆手順にて。今回は 1.5h ほどでできた。

ターゲット交換:

ぐへ、またエロージョントラックがターゲット突き抜けてた (写真1) (写真2) 。下地が Cu ブロックだからちゃんと見ないと分からないんだよな。 だいたい 100W 15h くらいでこの辺までいってしまうようだ。 おそらく尾崎君がつくってくれた試料の 昨日ぶん (120min) と今日ぶん (15min) は引っかかっているような。 昨日が 15min で今日が 120min だったらしい。

boss が部屋にいたので、見せて善後策をちょっと相談。 くらいかなあ、とりあえず。

#6 帰り

バス-電車-歩き。
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2003年01月29日(水) [n年日記]

#1 行き

原付。さむい。

#2 [labo] CuIn XPS

8:10 start。 3514Åつけるつもりが、 膜厚モニタ値 2428Å で ran out of In source。 あれー? くそお、朝早く来て実験がうまくいかないと眠気が倍増するぜ。

佐藤君にサブチャンバーを取ってもらったら、 In はまだ蒸発源に残っていた。なぜだー。

ということで In は相当量が付いているのかな、 ということで測定も頼む。悪いことした。

加熱前プロファイルでイオンエッチングができていなかったらしい。 まあしょうがないなあ。経験と思って学んで下さい。

最後引き継いで終了操作。23:45 終了。

#3 [linux] MIFES for Console

ysjj さんのとこから。 一応 woody でも sid でも動いた。 でもいまさら常用する気にはならんかな。
うへ、ホームディレクトリに mi.ini とか作るのか。アホか。

#4 [labo] 写真撮影

工学部パンフのもの。自分は被写体にならなかったので椅子に座って仮眠していた。

#5 [labo] 卒研関係

忙しい。そして眠い。どんどん機嫌が悪くなっていく。

工藤さん:

coaxCT に LP.m を組み込む。 フィルタのところを変えて結果を見てもらえるように指示。

尾崎君:

q_rms256 のラッパを tiger:/usr/local/bin/rms として作る。

中島君:

膜厚モニタを組み込んでベーキング 11:45〜13:15。13:45 に水流して 15:15 スタート予定。

1Pa 100W で 30 min プレスパッタして基板下げようと思ったら、 シャッターが引っかかって開かずに死。 作業前に田中君がシャッター閉まった状態でステージを降ろしてしまって 一度ひん曲がり、曲げ戻してもらったつもりがちゃんと直っていなかった。 うえーん。

とりあえず再度のひん曲げ覚悟で降ろして測ってみる。 距離によって 25〜9 Å/s くらい。なかなか良さそうだ。 一回の測定の間に XTAL の consumption は 2% 上がった。

じゃあ開けようか、と思ったらゲージのフィラメント入れっぱなしだった。 もうダメ。

17:00 に close。17:15 からベーク。

山城さん (+田中君):

積分が負になるので悩んでいたのは、 その前にかかる係数も符号が反転するからであった。 ちうか定数変化法がすぐ浮かばんとは俺もだめだのお。

藤本君:

昨日切れた (これは寿命) シュルツゲージの交換。 自分は切るのヘタなので押しつける。 Si 基板を cut。 最初 8mm 角でいいかと思ったら、 穴のサイズがピッタリ 8mm だったので切断誤差で嵌まる基板多数。やれやれ。 気づいてからは 7.5mm で切ったけど、長手方向には 8 で切っちゃったから、 まだ入らんやつあるかもな...

#6 [labo] 来年度卒研配属

発表されていた。馬場研は 12 名。

#7 [JM] mirrodir pages

リリースにした。そのうち登場。

#8 [labo] VP 電話

そういえば 土曜日の fax の購入品リストにスパッタ装置のシャッターを入れてなかったな、 ということで電話。 一発目、ボケていて boss の部屋の内線にかけてしまい大いに慌てた。 折り返しの電話待ち。

シャッターの件を伝え、 ストック用のシュルツゲージと水晶振動子のセンサを発注。 伝票類は既に郵送済みとのこと。 蒸着装置の仕切り板の切り欠き入れは、1/31 の 10:30 に持っていくことに。

#9 電話

『新井さんはおられますか』
「卒業生にはいますけども」
『(小声で) あれっ』ブチッ...ツーツーツー

死ねクソが。

#10 [JM] procps kill.1

整形後の見てくれのあまりの ugly さにやる気を無くす。 いや、今のやつも (原文から) だいぶ酷いんだけど。 つかオプションの列記にテーブル使うのヤメロ。.TP 使わんかい。
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2003年01月30日(木) [n年日記]

#1 帰り

自転車。

#2 行き

バス電車歩き。

#3 [labo] 旧スパッタ装置減圧弁

フローコントローラの空圧バルブ用のやつ。 藤本君が圧力弁を大きく開けた状態でボンベの弁を開けたため、 二次側の安全弁が抜けてしまった。 三栄商会に電話、持ち込めば修理してくれるらしいので、 明日 VP に行く 前に寄って持参することにした。 三栄商会の地図は こちら (mapion)。

#4 [labo] CuIn XPS

depth profile が変化していないとのこと。 イオンがあたっていない? フィラメントは切れていなかった。 後でファラデーカップ入れてチェックしよう。

ESCA Ion gun calibration:

ということで実行。今回は 3kV のみ。
Signal	119nA
C.Lens	340
O.Lens	369
Pos.X	+0.1
Pos.Y	+0.6
前回 からほとんど動いていないようだ。

ホルダ交換の際に取出したサンプルで、 ちょっとイオンがあたった後の四角形が いつもより奥側にずれている気がするのだが... 焦点合わせの問題だったのでは?

明日の仕込み:

21:48〜23:48 ベーキング。
ガス出しして 24:25 終了。

#5 [labo] 引越

3/8 (土)〜3/16(日) にかけてが移動になるようだ。

#6 [labo] 新スパッタ装置膜厚モニタ測定

最初一緒にやって中島君に渡す。
測定完了。まずは圧力ごとのグラフにしてもらうよう頼む。 距離に対して指数で落ちているように見えるので、 deporate の log と距離のグラフの傾きを計算してもらう。

#7 [URL] スパムへの対策 ---A Plan for Spam

IRC で あきらさん から教えてもらった。
spamを止めることは可能だ。そして内容に基づいたフィルタリングがその方法だ。 spamを送る連中のアキレス腱は、彼らのメッセージだ。あなたがどんな障壁を築こうとも、彼らはそれをすり抜ける方法を見つける。少なくとも今まではそうだった。だが彼らは、何であれメッセージを届けなければならない。彼らのメッセージを認識できるソフトウェアを書くことができれば、彼らの道を絶つことができる。
これを元に実装されたものとして、 など。もうちょい時間ができたら試してみよう。

自分の spam:

昨年から別フォルダに機械的に refile するようにしたが、 今日見たら一万通を越えていた。最初の日付が
Date: 05 Mar 2002 00:11:47 -0500
だから、だいたい 1000通/月 くらいか。

#8 [labo] MgO スパッタ

テフロンスパッタ後のチャンバーコンディショニング。 トラブル のためケツカッチンになってしまった藤本君を引き継いで作業。 16:35 点火、17:35 シャッターオープン、19:35 までの予定。 5x10^-2 Torr ということでやっているのだが、 どんどん圧力が下がっている、ようにみえる。 実際サーモカップルゲージの方は、当初 10 から 25Pa 程度の表示に。 シュルツゲージの初期変化、なんてあるのかなあ。 そういえば心なしかフィラメントの色もだんだん 赤っぽくなってきた (=温度が低くなってきた) ような気がする。

プラズマ消灯後、バタフライバルブを全開にしてみたところ、 6x10^-3 から 10x10^-3 Torr くらいまでダラダラ上昇。 チャンバーの温度で説明できる範囲なのだろうか。よくわからん。

赤っぽいのは既に tube が蒸発したフィラメントで汚れていたからだった。 んー、O2 が入ってるガスだからしょうがないけど。 管切りの手段を考えておいた方がいいだろうな。

基板を取出してみたら、ちょっと茶色がかっていたけど、 ほぼ透明な膜になっていたので、 中を掃除して昨日仕込んだ Si 基板ホルダを装着して粗排気。
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2003年01月31日(金) [n年日記]

#1 帰り

原付。あかぎでメシ。

#2 [LDP] 1/28〜1/31 の updates

new HOWTOs:

updated HOWTOs:

update FAQ:

#3 [book] 『キャラ者』『キャラ者2』江口寿史

プックンのネタはこんなところにひっぱられていたのか。

#4 行き

原付。用足しをしつつ。

三栄商会:

昨日の減圧弁 を引渡し。先方の担当は吉田さん。

バキュームプロダクツ:

蒸着装置の仕切り板を渡す。 膜厚モニタホルダの今後についてちょっと相談。 ケーブルは上から抜きたい、水冷が欲しい、という二点の要望を伝える。 後者はちょっと難しいか。真空中でのケーブル挿抜は、 セラマシールのマイクロコネクタがいいのでは (ただし納期がちょいかかる) ということで、そっちの方向で。 来年 5〜6 月に入手できるとありがたい、と伝える。

その他新スパッタ装置絡みで などをお願いする。

ブレインバスター:

武蔵小金井南口に *あった* DOS/V パーツ屋。 2.5" HDD を買おうと思ったのだが、去年 11 月で閉店していた。

ケーヨーホームセンター:

卒論用のバインダ、文房具、タッパーなど。

第一生命:

年末に宅配便で送ってもらった景品が、 どうも自分が不在票を見なかったらしくて戻ってしまった、 という電話を受け、途中なので寄っていただく。 バスタオル他。

#5 [labo] 新スパッタ装置ステージ交換

ターゲットがえぐれすぎていた ので、尾崎君がデータ補完をしたいということで。 今回は 1h ちょいであった。だいぶ習熟してきた :-)

旧装置の真空計較正 をしたついでに、ターゲットを新しいのに交換しておく。

#6 [labo] 発注記録

藤本理化に手袋
フルウチ化学に Cu ターゲット & Cu ワイヤ
それぞれ fax にて。

藤本理化は移転で番号が変わっていた。 新番号は tel 03-3814-8161 / fax 03-3814-8165。

#7 [paper] AIP online backfiles

先週送った fax に対して反応が無いので、query をメールで送ってみる。

#8 [labo] ISSP

3 件 accepted. +misc/2377〜9。 presenting author を事務局に連絡のこと。

#9 [labo] 旧スパッタ装置の真空計

昨日調子がおかしかった やつ。今日藤本君にスパッタしてもらったのだが、 症状は昨日と酷似していた。 2x10^-1 Torr 狙いで圧力を上げていくと、 ガードリングとの間にバシバシと放電、圧力が高すぎるような気配。 とりあえず圧力は 5x10^-2 Torr に設定して着けてもらう。 新スパッタ装置の方にある球を一緒につけて較正してみようということに。

で外してよく見ると、 電極板が曲がっていてフィラメントとの距離が近くなっちゃっている *1 。 boss に見せたら「ピンセットで曲げればいいよ」という豪快なお言葉をいただき、 ちょいと曲げる。

んで較正。やはりちょっと素性が悪かったが、 コネクタを逆にして電極の極性を変えてみたらまあまあになった。 較正結果は藤本君に整理を頼んだ。 ただ、いずれにしても新しい球が来たらさっさと変えた方が良さそうだ。

管球は冷ましてから元に戻した。
*1: 写真を取っておけば良かった...

#10 [labo] CuIn XPS

8:30 から boss と佐藤君が蒸着からやってくれていたのを引き継ぎ。 22:45 頃終了予定+後始末。In 65%。やはり In の量はそれなりに多い。

23:30 終了。はあはあ。

#11 [URL] Bayesian ってどういう考え方なんだろう

ベイズ理論は、普通の確率論とは一風異なる確率理論です。

この小文では、ベイズ理論の意味・意義について私がこれまでに学び、考えたことについて整理を試みます。とかく、<宗教的信念>のごとくに扱われがちのベイジアン思想ですがそのおかしいところ、よいところなど、基準を明確にして検証していけたらいいな、というのが目標です。
安部さんのところ から。 というような products もあるとのこと。

#12 [dept] 入試業務

依頼が来た。11〜13 が拘束日になるかな。
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以上、11 日分です。
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中野武雄 (NAKANO, Takeo) <nakano@st.seikei.ac.jp> Since 1999-10-07
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