なかのにっき

最新版はこちら。 突っ込みは各日付の BBS エントリのほか、 メール (nakano@st.seikei.ac.jp) や フォーム からどうぞ。 なおスパム除けのため、BBS 機能には 緩い認証を入れて います。 検索エンジンから来た方は、エンジンの方のキャッシュを見るか、 下の簡易検索を試してみてください。


hns - 日記自動生成システム - Version 2.19.5

先月 2007年08月 来月
1 2 3 4
5 6 7 8 9 10 11
12 13 14 15 16 17 18
19 20 21 22 23 24 25
26 27 28 29 30 31
Namazu for hns による簡易全文検索
詳しくは 詳細指定/ヘルプを参照して下さい
検索式:

2007年08月01日(水) [n年日記]

#1 DONE

全部 carry over。ううむ。

#2 もう 8 月か

全然そんな気がしないのはまだ試験期間中だからかなあ。

#3 行き

原付。晴れた。まだ涼しいが暑くなりそう。

#4 [dept] 試験監督

自分の担当は今日で終わり。

2 限 物性物理学:

48 名の履修登録に 47 名の受験という異常な出席率。 60 分だったので全員最後まで残り、つつがなく終了。

3 限 線型数学 I:

ML の 139 名 80 分の試験。最後に大物が。 ガリガリ計算をする試験だったので途中退出もなく無事終了。

#5 au、EXILIMケータイ「W53CA」を8月2日発売

む。W52CA (レビュー) とどっちにするかのお。

#6 事務処理

科研費の寄付届を根津さんへ。ついでに明日到着の代引代金を相馬さんに預ける。

#7 論文読み

昨日拾った 論文に目を通してみる。
みた。

#8 帰り

ちとお疲れだったので早めの帰宅。 大学から五日市街道を西に向かい、三鷹通りを過ぎた次を右に折れてちょっとのとこにある 丸福 でラーメンとハヤシライス。うまうま。

#9 今日のビジネス英会話

微妙にサボりつつ月曜の。
bruise 痣
What gives? 何があったの?
dispute 口論、争い、喧嘩 [quarrel, squabble]
bump into 〜に突き当たる、ぶつかる
clench a fist 拳を握りしめる
pop (人を) 殴る
cut short 中断させる
irate いきり立った、激昂した
highway pileup 幹線道路での玉突き衝突
at fault 落ち度がある、責任のある [in the wrong]
distract 気を散らす、注意を逸らす
pedestrian 歩行者
buy into 〜に賛成する、受け入れる
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2007年08月02日(木) [n年日記]

#1 今日の英会話上級

これも月曜の。聞いたあと寝落ちした。
canon 正典目録、大系
monolithic 揺るぎない、一枚岩の
scrutiny 綿密な調査
rendering 翻訳・解釈
allusion 引喩
dispute 異を唱える
defining 典型的な
aesthetic 美学
obfuscation 不明瞭にすること
disparate 共通点のない、バラバラな
fecund 豊かな、想像力に富む
avail (〜の) 役に立つ、avail oneself of 〜を利用する

#2 DONE

#3 行き

原付。やっと夏らしくなった。

#4 [labo] 卒研輪講

8/6 に向けて、前期のまとめを皆に話してもらうかたち。 15:00 ちょい過ぎまで。

#5 到着品

本:

注文してた本 の荷物が届いたのだが、中身が違え(笑)。 しょうがないからメール。米国に着払いってできないだろうなあ。

アーロンチェアのランバーサポート:

着。さっそく取り付け。

#6 [paper] 今日拾った論文 (JAP 101(2), RSI 78(1))

2 月頭、実質 1 月末のやつから。半年離されたわけか…

Interface roughness evolution in sputtered WSi2/Si multilayers:

標記多層構造を 6E-3 Torr / 1.8E-2 Torr の DC マグネトロン (50W) で積み、 粗さを SR の反射スペクトルから評価した話。 Si 層を積むと粗くなり、WSi2 層を積むと表面が smooth になる (でも下層との界面は粗いまま) という結果らしいけど。

The effect of low-energy-ion irradiation on photoluminescence of porous silicon:

陽極化成した PS に 800eV の N2 や Ar を当て、PL や FTIR の経時変化とか XPS とかを見た話。

Practical and simple circuitry for the measurement of small capacitance:

電流補償を使って数10pF の容量を測定するための回路と測定結果。

#7 [labo] 発注

エビサワさんに試験管。100 本とか大量の単位しかカタログにはないので、 小口の注文が可能かどうかお伺い。

#8 [labo] 電源 query

平和電源さんに fax 送信。さて。
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2007年08月03日(金) [n年日記]

#1 帰り

原付。だいぶ夜も気温が上がってきた。

#2 DONE

増えた。

#3 行き

原付。VP 経由。

#4 [VP] 勉強会

薄膜講座の問題演習の流用。 今日は排気時間の復習と真空蒸着の膜厚分布の話。

#5 [labo] 発注関係

#6 [dept] 出張申請

提出。応物とスパッタ委員会のやつ。

#7 [dept] 蒸着装置試運転

仲田くん・大木さんがやってくれることに。ありがたや。

#8 査読コメント書き

どね。

#9 原稿校正

どね。帰りに投函。

#10 [paper] 今日拾った論文 (PRL 98(5), APL 90(5), SCT 201(12))

Enhanced photoresponse of a metal-oxide-semiconductor photodetector with silicon nanocrystals embedded in the oxide layer:

ITO-SiO2-pSi の MOS 光ディテクタの oxide のとこを nano Si 入りの層にして、検出感度が上がったという話。synthesis は ref 12. plasma deposition process だそうだが。

Self-organization of Pb islands on Si(111) caused by quantum size effects:

Si(111) に Pb を基板温度を変えつつ depo、SR-XRD で island の hight distribution, size, separation を評価。"magic height" があって、 こいつが QSE のためであると。 ときどき出てくるなこの話。

Electron-beam-induced formation of Zn nanocrystal islands in a SiO2 layer:

a-Si/Si 上に Zn を付けて 900℃で焼くと Zn-Si-O 層ができて、 そこに電子ビーム当てる (電顕観察) と c-Zn が SiO2 に embed した構造ができると。ほー。

Impact of Ni-silicide grain orientation on the strain and stress fields induced in patterned silicon:

電極がシリサイドの MOS トランジスタを透過電顕・回折で観察して歪み場を見た話。 ゲートを中心に歪みに非対称性があって、 それはシリサイドの grain orientation のせいである、という解釈。 というアイデアで応力場の計算とか。

Comparison between nanoindentation and scratch test hardness (scratch hardness) values of copper thin films on oxidised silicon substrates:

引っ掻きで hardness を測って nano-indentation のと比較したという話。 どうやったんだろ。薄いほど固い、という傾向は一致した、と。

#11 帰り

原付。三鷹のモスバーガーでばんめし。
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2007年08月04日() [n年日記]

#1 TODO

#2 今日のビジネス英会話

水曜の。
clutch つかむ、握る
chitchat おしゃべり、雑談
munch snacks スナックをむしゃむしゃ食べる
carnage 殺戮、大虐殺
fiddle with 〜をいじる
hem 服のへり、裾
in someone's book 〜の意見(考え)では
point a finger at 〜を指差す、〜を名指しで非難する
slip-up 間違い、不手際、見落とし
let on (秘密を)漏らす、口外する、認める、白状する
monkey with 〜をいじる

#3 今日の英会話上級

extol 激賞する、高く評価する
portray 描く、描写する
aristocratic 貴族政治の、貴族社会の
identify with 〜と同一視する、〜になりきる、〜に共感を覚える

#4 編集部会

ガバっと起きて出発、ぶんバスを逃したが、直後の西の久保循環で武蔵小金井から。 会場へは無事定刻前に到着。9:30〜12:00。 いくつか宿題。

#5 戻り

秋葉原で途中下車、昼食、ヨドバシ、書泉ブックタワーなど。 総武線〜バスで大学へ。あつい。

#6 小川くん桐迫さん来研

吉祥寺でクラブ (工庭球部) の同窓会があるそうで、 学内にいたところを boss が引っぱってきたらしい。 小川くんは随分久しぶりだったなあ。 お二人とも元気でご活躍のようでなにより。

#7 [dept] 体験講座準備+α

ちょっとだけ部屋の片付けと PC の手当。

あと廃棄予定の PC の HDD クリア。 wipe-out はやっぱり駄目 なので、蓋開けて「これ do 台マスター」を無理矢理接続して DELETE する方向で。

#8 ディスペンサー

ふっ酸用のやつを購入の方向で。月曜あたりにコンタクトしてみよう。

#9 [peper] Google Reader で拾った論文 (PSST 16)

Fabry-Perot lineshape analysis in an optically thick expanding plasma:

光学的に opaque な Ar-N2 プラズマの OES。 thermal plasma の jet が吹き出しているような状況で、 CT チックな解析について考察、 速度場の影響などについて議論している。 もっかい高密度 Cu の CT やるとしたら読んどかんとな。

#10 [paper] 今日拾った論文 (JJAP p1 46(2), JJAP p2 46(4-7))

New Design Concept and Fabrication Process for Three-Dimensional Silicon Photonic Crystal Structures:

東工大の小田・水田研、農工大越田研のコラボ。 photonic crystal のバンド計算の話と、 磁場を法線方向にかけた anodization (といかエッチング) で 深い穴を periodic に抜いた構造ができるよ、という話。 斜めに磁場をかけて二回抜けば 3D 構造ができるで、というアイデア。

Ordering and Orientation of Epitaxial CuInS2 Films Grown on GaP(001) by Three-Source Evaporation:

新潟大のグループ。 GaP (001) 基板上に 3 源蒸着した CIS (Cu/In 比を変化) の XRD/RHEED 測定による構造・方位測定と Si の場合との比較。

#11 [labo] discussion

柴田くんの実験に関する議論を 3 人で 2h ほど。

#12 帰り

バス電車歩き。国分寺江戸っ子で茹で豚定食。大瓶も付けてしもた。 歩きで家に帰るころには汗だく。デブには辛い季節だ。
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2007年08月05日() [n年日記]

#1 行き

原付。あつい。

#2 [dept] 一日科学体験教室

学科の催しもの。午前は小島先生の学科紹介と久富先生の講義 (と実験のガイダンス)、午後恒例の干渉フィルタ計算・作製。 16:00 に終了。お疲れさまでした。

#3 TODO

#4 [paper] 今日拾った論文 (SCT 201(13), PRL 98(6), APL 90(6), JMR 22(2))

SCT は International Conference on Superhard Coatings の proceedings。 JMR は金属ガラスの機械特性の特集号。(両方とも拾わなかったけど)

Alignment of Ge Nanoislands on Si(111) by Ga-Induced Substrate Self-Patterning:

LEEM。0.02 miscut の Si(111) 7x7 に Ga を付けると √3x√3 がテラスエッジにできるそうで、その上に Ge を降らせると、両ドメインの境界が favorable な核生成サイトになって 3D island 構造になるとの結果。歪みによらない自己組織化の話は (著者らが主張する通り) 珍しいかも。

Effect of grain shape on the agglomeration of polycrystalline thin films:

ポリクリスタル膜のグレイン境界の形状、 特に grooving についてエネルギーの面から考察したもの。 rounded な結晶と faceted な結晶の場合の両方について扱い、 後者の表面エネルギーの違いの効果について議論している。

Origin of ground state anomaly in LaB6 at low temperatures:

LaB6 の低温・高エネルギー分解 UPS。 角度分解はしてない。 バンド計算と比較、だいたい一致したので電子相関はあまり強くなさそうだとか、 フェルミ面付近に擬ギャップがありそうだとか。

Influence of cathode sputter deposition on organic solar cells:

PEDOT:PSS ベースの有機太陽電池に Al 電極をスパッタでつけると生じるダメージについての話。 スパッタ圧力は 0.12 Pa、ってのが低いんではないかな。 蒸着の場合と比較。付けたあと 150〜170 ℃くらいまでアニールすると復活する (蒸着よりむしろ良くなる) とかなんとか。

#5 帰り

原付。ちょっとだけ涼しくなった。 東小金井富士ランチでめし。東小金井の南口は盆踊りで交通制限してて遠回り。 店出たらちょうど花火が数発打ち上がるところだったり。

#6 洗濯

した。

#7 [receipt] amazon.co.jp 1,580 円

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2007年08月06日(月) [n年日記]

#1 DONE

#2 行き

今日は打ち上げの予定なのでバス電車バス。 大澤モータースによって車検の依頼。 今日が車検切れ当日だったそうで。申し訳ない。

#3 [labo] PC 廃棄

j,k のシリーズまで。HDD は消しておいたので、 返納届を書いて関係者に確認して倉庫へ移動。

PC については再利用ができるかどうか情報センターに 判断してもらうことになっているのだが、 「中野さんのとこで要らなくなったやつならどこも欲しがらないでしょ」 とヒドいことを言われた(笑) 自覚があるところがまた救われない(笑)

#4 [labo] ディスペンサー問い合わせ

fax した。

#5 [labo] 発注

エビサワ理化にケース・試験管・エタノール&ふっ酸。

#6 [labo] 前期打ち上げ

病欠等々連絡のあった人以外は全員揃いで 15:20 start、 4 年報告・修士報告・3 年自己紹介という順で 17:20 くらいに終了。 ピザとってビール買いにいってもらって (こないだ発掘されたビール券を利用) 20:00 まで…と思ってたらデザートにケーキがついて 20:30 まで。 3 年・4 年・修士と揃うと大分大人数になるね。

#7 帰り

バス電車歩き。暑いねー。
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2007年08月07日(火) [n年日記]

#1 DONE

#2 今日のビジネス英会話

先週金曜の。むー。
irk うんざりさせる
up in arms 武器を取って、興奮して、怒って
vent one's spleen 怒りをぶいまける
still and all (口) いずれにしても、それでもなお
addict 中毒者、常用者
nuisance 厄介者、妨害、迷惑
come into play 作用(活動)し始める
solemn 厳粛な
prop up 〜を下支えする、〜にてこ入れする
deter 抑止する、やめさせる
bedevil 苦しめる、悩ます
letup (口) 減少、減速 [drop]
last rite 葬儀
daunt 脅す、怯ませる

#3 今日の英会話上級

聞いた直後に寝落ち。帰ってから補完予定。
seduction 誘惑
opportunism 日和見主義 (ちょっと negative な意)
disgust 不快感を与える、むかつかせる
promiscuous 無節操な、無差別の
venerate 崇める、敬う
loyalty 誠実、忠節、定説
refined 洗練された、優雅な
chronicle 年代記
transience 無常、移りゆくこと、はかなさ

#4

涼しくてエアコンなしで快適に眠れた。

#5 行き

原付。

#6 [labo][stock] 平和電源豊田さん・吉川さん来研

パルス電源の仕様について 10:00〜10:40。 こちらの到着がちょっと遅くなって 9:55、 既に来られていて暑い中外でお待たせしてしまい恐縮。 だいたい希望に近いものができそう。

#7 セミナー内容

メールした。しまった〆切は昨日だった。

#8 [paper] 今日拾った論文 (JAP 101(3), PRL 98(7), APL 90(7))

rf magnetron sputter deposition of transparent conducting Nb-doped TiO2 films on SrTiO3:

このへんにも出てきたか。Nb ドープした TiO2 TCO 膜の話。 米国のグループ。 Ti:Nb:O が 0.85:0.15:2 と 0.8:0.2:2 の焼結体ターゲットから、 45度の位置に基板を置いて、20sccm 4.5mTorr の Ar 中でスパッタ。 基板温度は RT〜400℃。 2インチターゲットに 25〜30W、1h で 200nm くらい。 3000 Scm^-1 ってことは 3E-4 Ωcm か。 anatase (004) の強度と伝導度に強い相関が見られたとか。

Competition between tensile and compressive stress creation during constrained thin film island coalescence:

島の合体で応力がどうなるかの問題について、島がばらけてるのがいかんのじゃ、 ということで、Si に Ti→Au と付け、フォトレジストでラインパターンを切って Ni を電着 (なのでフォトレジストには付かない)、 蒲鉾状の膜を成長させて応力を見たという実験。測定は基板の変形で。 合体するときに、Instantaneous Stress (膜厚を h として d(σh)/dh) が tensile 側に上がり、その効果はあるみたい。 パターンサイズの影響に関する議論なども。

Origin of cathodoluminescence from Si nanocrystal/SiO2 multilayers:

韓国のグループ。イオンビームスパッタで SiOx/SiO2 の多層構造を作り、 窒素中 1100 ℃でアニールしてナノ結晶を作製。 ターゲットは Si の反応性プロセス。 325 の HeCd レーザ使った PL、1〜20kV の CL。 SiOx の x を 1〜1.8 と振って評価、どうも 1.8 に近い方が良く光るらしい。 また田中くんに読んでもらおうかな。

#9 [labo] 続ディスペンサー

代理店からの返信を受けて試薬メーカーにボトルの規格を聞いてみたのだが、 どうも要領を得ない。代理店側に、その返事を添付するかたちで返信。 まあ大丈夫なんだろうとは思うけど、 安い品物ではないので購入前に確定させておきたいところ。

#10 帰り

原付。東小金井北口エフエフで晩飯。

#11 墜落睡眠

した。
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2007年08月08日(水) [n年日記]

#1 半休

ずっと出ずっぱりだったこともあり、宅配便待ちもあったので午前はお休み。 ちょっと部屋を片付けたり、英会話ラジオを聞いたり。

#2 今日の英会話上級

月曜の。
demigod 半神、神格化された英雄
mythology 神話
subtlety 精緻さ、巧緻さ
abstruse 何回な
portray 〜の肖像を描く、言葉で描写する
spell out スペルを言う、一字一句書く、詳細に説明する
brevity 簡素さ、簡略さ
exemplify 実証する、例証する
aesthetic (n)美学 (a) 美観に関する、芸術的な
metaphoric 隠喩的な、メタファーの
anthology アンソロジー、選集

#3 今日のビジネス英会話

be fed up with 〜にうんざりしている
add up to 〜という結果になる
embrace 喜んで受け入れる、取り入れる
trigger 誘発する、きっかけになる [悪い方向への変化に用いることが多い]
gadgetry 小道具類 [集合名刺]
dispute 論争、紛争、争議
bells and whistles 余計なおまけ、機能 [〜fancy features]
wrinkle 皺、ひだ、ちょっとした不具合、新機軸
fathom 〜の水深を測る、推測する、理解する (n では水深の単位、推測)

#4 行き

原付。一番暑い時間帯になってもた。あほか。 丸善で油そばとミソチャーハンのセット。

#5 DONE

#6 [vsj] 夏季大演習問題

対応してみた。うーむこの辺バージョン管理しないとなあ。

#7 [paper] 今日拾った論文 (JJAP p2 46(8-11)), Vacuum 81(6,7), PRL 98(8), APL 90(8))

Vacuum の 6 号は EVC-9 (2005) の proceedings。 道園さん・齋藤先生のところのが 載っている。

Calculation of time-dependent flows of sputtered material in the asymmetric alternating current glow discharge:

ちょっと周波数とかがわからんが、スパッタ粒子密度の時間変動って、 ejection のところで変わるんだろか。まあ複写依頼出しておくか。

Vakdyn, a program to calculate time dependent pressure profiles:

web は ここ 。ソースはないんか。お、preprint が見れる。 んー、分子流領域の微分方程式を普通に差分化して解いてるだけ?

Preferentially oriented thin-film growth of CuO(1 1 1) and Cu2O(0 0 1) on MgO(0 0 1) substrate by reactive dc-magnetron sputtering:

横浜市立大の馬来先生のところ。MgO 上への CuO/Cu2O のメタルモードでの反応性スパッタを RHEED/Xray-AES 観察。 600℃ だと Cu 相、O2 雰囲気で冷ますと Cu2O が見えてくるのだとか。

Ultrafast carrier dynamics of Si quantum dots embedded in SiN matrix:

SiN マトリックスに 4nm 程度の Si ナノクラスターを作り、 高速分光した話。3 つの超短パルス (<100fs) を delay をかけて当て、 許される k 方向への放射光の強度の delay time 依存性からキャリアの寿命について議論しよう、ということらしい。 PL のピークが 600nm 付近にあるので、600nm で pump すれば band edge の、 545nm なら phonon assisted な遷移が起きるであろー、というような感じで。 delay から TO/TA フォノンの遷移への寄与を分離できた、という結論。 難しい。ちゃんと理解するには ref を拾ってかないとだめそう。

#8 [labo] MgO 放電テスト

Al の新しいマグネトロンの装置で、 こないだ買ったφ75のターゲットで放電させてみるテスト。 仲田くん中谷くんに RF 接続の大部分の作業をしてもらった。お疲れさまでした。 100W で 0.15 Pa くらいまでは放電が維持できるみたい。 コイルの接続あたりが最適化されてないみたいで、 整合器の Load と整合 Capacitor が効かない状態でこれだから、 ちゃんとやれば 0.1 Pa までいけるかな。さすが MgO というか。 ガラス基板を仕込んだとのことで、0.3 Pa で膜をつけてみるとのこと。 さてどうなるか楽しみ。

ちなみに Tune に対して凄くピーキーで、 最初パワーを入れすぎたところでいきなり整合したため、 電源のヒューズを飛ばしてしまった。
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2007年08月09日(木) [n年日記]

#1 帰り

原付。今日のばんめしは貰い物のイクラ醤油漬の丼。んまかった。

#2 今日のビジネス英会話

復習の回。やっぱり pedestrian が出なかった。
misfortune 不幸、不運
The meeting turned into a solemn affair. 会議がお通夜状態になった

#3 行き

原付。今日も暑い。 盆が近いせいか、トロい運転の車が目立つような気がする。 暑くてこちらの気が立っているせいかもしれんが。

自分がいままで 珍珍亭 だと思っていた店は 丸善 という別の店だったことに今さら気付く。 あほすぎ。過去の日記を改訂。珍珍亭にはまた行かねば。

#4 DONE

#5 [paper] 今日拾った論文 (TSF 515(9-11), SCT 201(14))

TSF の issue 9 は SPSM18 (2005) の proceedings、 issue 10 は ICMAT 2005 の III-V 半導体 session の proceedings。
一応これで 2 月分は終わり。gmail の unread ストックもやっと 100 を切った (つってもまだそんだけ溜めてるんだけど)。

Measurement of sputtered Mg particles in an MgO surface discharge:

宮崎大のグループ。ISSP にもいらっしゃっていたっけ? PDP cell で MgO 層からの Mg の emission を LIF で見た話。 スパッタ製膜の話ではないけれど、拾っておきますか。

Determination of Young's modulus and Poisson's ratio for coatings:

spherical な stylus を弾性領域でロードし、force-displacement カーブを モデルと最小二乗フィットさせて定数を出す、というものらしい。 これも拾うか。

Characterization of the silicon oxide thin films deposited on polyethylene terephthalate substrates by radio frequency reactive magnetron sputtering:

PET にガスバリア膜として SiO2 を反応性スパッタで着けた話。 ちょっとパラメータの範囲がわからないが、 0.27 Pa で作ったもののパフォーマンスが良かったということらしい。

#6 [labo] 納品確認

大橋さんに電話、ブツはできているそうな。明日勉強会のあとに受け取り、 スパッタガンについてもそのときに。
ついで海老沢さんに電話、今日午前に来ていたらしい。 明日午前、ということで自分は勉強会とぶつかってしまうのがナニ、 申し訳ないところだが宮内くんに依頼。

#7 文献複写依頼

2 月分をまとめて図書館へ。

#8 [vsj] 某解説対応

封緘。うーん、これはちょっと色々つらい。

#9 TiN と TiO2 の生成エンタルピー

web を見た方から TiN の酸化安定性について質問をもらい、 ちょっと調べてみる。TiN は Handbook of Refractory Carbides and Nitrides の p.178 に図だけだけど載ってて、約 -82kcal/mol→-340kJ/mol、 TiO2 は CRC ハンドブックの 5-21 に rutile が載ってて -944kJ/mol と。 この辺のデータって、あまり安直には見付からないな。 NIST あたりに DB があったりせんやろか。

#10 [vsj] 執筆打診

sent。やれやれ。
うは、もう返信が。

#11 帰り

原付。チャーシューをそろそろ食っちまわんといかんので、 ばんめしは冷やし中華に。錦糸卵は久々に焼いたけど、 まあまあまともなものになった。
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2007年08月10日(金) [n年日記]

#1 DONE

nothing. Ugh..

#2 今日の英会話上級

transference 感情転移
get together 一緒に集まる
underlie 根底を成す、背後にある
delineate 描く、言葉で詳細に描きだす
nobility 高尚さ
medieval 中世の

#3 就寝〜起床〜二度寝

また明かりをつけたまま気絶、28℃の除湿設定とは言え、 やはりエアコン入れてるのはナニで 6:00 に起床。 飯食って水風呂入って時間まで二度寝。

#4 行き

原付。VP 経由。今日はまたもの凄く暑い。

#5 [VP] 勉強会+打合せ

今日は cos 分布する蒸発源の成膜速度を出すところ。 最後の最後で自分の解説がヨレてしまったのが情けない。

昼ご飯を頂戴してから大橋さんと打ち合わせ、 水蒸気導入用のフランジをもらってスパッタガンの製作依頼。 あとで寸法を送ること。

実測して結果を Fax 送信。

#6 [labo] 到着品

大木さんがエビサワさんの発注品を受けとってくれていた。どもども。

#7 [paper] 今日拾った論文 (JAP 101(4), RSI 78(2), PRL 98(9), APL 90(9))

Determination of stress-optical and thermal-optical coefficients of Nb2O5 thin film material:

台湾のグループ。 熱膨張率の異なる基板に着けた SiO2/NbO2 の多層膜フィルタをイオンアシスト蒸着で作製、 中心波長の温度変動からモデルに合わせて標記物理量を決めた話。

Spectroscopy of silica layers containing Si nanocrystals: Experimental evidence of optical birefringence:

SiOx を窒素中 1100℃ で加熱して作った nc-Si の SiO2 マトリックスを waveguide とみなして PL 光の導波実験とかプリズムカップリングとかの実験をした話。 実験結果は、layer が複屈折を持つというモデルでうまいこと説明できたとのこと。 作製法 (ref 10,11,15) と共に読んでおく話かな。

Molecular dynamics simulation study on substrate temperature dependence of sputtering yields for an organic polymer under ion bombardment:

阪大浜口先生のところ。ポリマーで見られるスパッタ率 (むしろエッチングの方の文脈が重要なようだけど) の基板温度依存性について、 ポリパラフェニリンに C や CH4 が入射する場合を例に MD シミュレーションしてみたもの。 メカニズムとして、高温時の振動によって生じる "weekness" だけでは実験結果を説明するには不十分で、 反応性プロセスが効いているのだろうという結論。

Highly sensitive silicon crystal torque sensor operating at the thermal noise limit:

Si 単結晶を使ったトルクメータ。有効面積 12.5mm^2 の double-paddle 振動子で、 1E-18 Nm 程度のトルクまで測れるで、とのこと。 熱擾乱の影響の評価とかも。

Enhanced laser shutter using a hard disk drive rotary voice-coil actuator:

HDD のボイスコイルモータをレーザのシャッターに使ってみようという話。 LMD18200 (H ブリッジ FET) を使った回路例と実機で測定した応答速度 (rise time が 500ns 以下!) とか。

High-Frequency Subsurface and Bulk Dynamics of Liquid Indium:

SR 光で液体インジウムの X 線非弾性散乱測定によって音波振動の分散関係を取って bulk, subsurface recion の粘性を評価した話。表面近傍の密度異方性によるものであろうと。

Control of the Charge State of Metal Atoms on Thin MgO Films:

Ag(001) に 3ML の MgO を積んで Pd や Au を撒き、 STM で観察した話。触媒機能の制御が Pt 上の silica 膜厚でできる、 とかいう話がバックグラウンドにあるようで。 んでまあ薄い oxide 上の metal atom の電荷状態について調べてみましょう、 ということらしい。原子の動径分布とか、+0.5V const-current の原子像をシミュレーションと比較したりとか。 で、ref 11 の計算の予測の通り、 薄い MgO 上の Au は帯電していることがわかった、 としている。Pd はしていなかった。また厚い MgO では帯電が起こらないことも わかっているそうで。

Growth competition during glancing angle deposition of nanorod honeycomb arrays:

いろいろな半径のシリカ球でリソして Cr のハニカムテンプレートを Si 基板上に作っておいて、 マグネトロンスパッタ Ta を α=84度の GLAD で RT 蒸着、 ハニカムのサイズとロッド長・ロッド幅の相関を見た話。 w/l に対してユニバーサルな関係になっているとのことで、 材質等々よりは inter-rod 間の competition で制御できるんではないですかね、 という結論。

#8 [labo] 表協予稿

大木さんのやつ。今日が提出〆切ということで、横から見て口出しをしたり。
無事提出された模様。発表まではもう一頑張り、かなあ。

#9 帰り

原付。局所的に涼しいところはあるのだが、家は暑いな。
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2007年08月11日() [n年日記]

#1 TOD

#2 今日のビジネス英会話

integrity 正直、清廉、誠実
connotation 言外の意味、含蓄
take 〜 up 〜の申し出に応じる

#3 行き

原付。ケーヨーで換気扇のフィルタを買った。 しかし今日はまたもの凄え暑い。

#4 団扇の骨組み

 円周上に2点を決め、これをA、Bとする。すると、長い方の孤AB上のどこに点Cを取っても、角度ACBは同じ大きさであり、この大きさは、円の中心Oと作る角度AOBの半分になる。特別な例として、AOBが直線(つまり直径)のときには、角度ACBは直角になる。この法則は有名。
うむ、どうやって証明すんだっけ、と探してみたら こちら にあった。エレガントだ。

#5 [paper] 今日拾った論文 (JMR 22(3), TSF 515(7-8,12), APL 90(10,11), PRL 98(10,11))

TSF は issue の番号が前後してたみたいだけど。issue 12 は DPS2005 の proc。藤原さんが担当されたやつか。
[TBO] マークは図書館へ order するもの。したら消す方向で。

Phase tailoring of Ta thin films by highly ionized pulsed magnetron sputtering:

Helmersson 先生のとこ。HPPMS で角度を変えて蒸着。 XRD と抵抗測定。bcc Ta ができる条件を調べたとのこと。

SiOxNy thin films deposited by reactive sputtering: Process study and structural characterisation:

オキシナイトライドの反応性スパッタ。電圧・成膜速度のモニタ、 膜の組成・密度・赤外吸収など。

The effect of target aging on the structure formation of zinc oxide during reactive sputtering:

Wuttig 先生のとこ。Zn ターゲットの新しいのとエロージョンができた古いのとで 膜の構造が変わった、という話。酸素負イオンの効果か、と abstract にはあるけど。 ほんまかいな。

CrN/NbN superlattice structured coatings with enhanced corrosion resistance achieved by high power impulse magnetron sputtering interface pre-treatment:

HPPMS とか Cathodic Arc などなどで標記多層膜を作製、 基板バイアス -600V で Nb イオン処理したりして付着力とか耐腐食性を見た話らしい。

Nanoscale quantitative stress mapping with atomic force microscopy:

strain を KPFM で測ろうという話。 予備実験として Si のレバーに歪みを加え、 workfunction ないし photovoltage (って光照射下の WF みたいなものらしいけど) の変化を実測、0.05% くらいの歪みで WF には 1mV、photovoltage には 7mV くらいの変化が出ているらしい。 ついで微細加工した Si メンブレンに tensile な応力をかけて topography と KPFM 像を観察、実際 stress mapping がとれるで、と言っている。

Comment on “Photoluminescence study of Sb-doped p-type ZnO films by molecular-beam epitaxy” [Appl. Phys. Lett. 87, 252102 (2005)]:

Sb ドープした p 型 ZnO (Hall 測定で確認) ってのは基板効果なのでは、 という指摘。PL ピークの identification についても。 著者らの reply によれば、高抵抗基板使ったしコンタクトは基板に到達してないし、ということみたいだけど。まあでも導電性基板を使うつー時点でどうよ、と思わんでもない。 p 型 ZnO は、どうもイイカゲンな報告が多くて追うのをやめちゃったんだけど、 現状はどんななのかなあ。

Effects of SiO2 addition on discharge characteristics of the MgO protective layer in plasma display panel:

MgO に SiO2 を混ぜて着けると (via 電子ビーム蒸着)、 MgO 単体よりも放電電圧・メモリ・SEEC などが改善されたという報告。

その他 DPS2005 から:

浜口先生のところの SiO2 の 反応性スパッタ製膜CF3 によるエッチング の、それぞれ MD-MC シミュレーションの話が 2 件。 沖村先生の VO2 の話 も。

#6 [labo] Al スパッタのマニュアル

まあ色々あって書いた。中谷くんが前輪講で発表してたやつをベースに ~/text/notes/AlSpManual.doc。pdf を 内部 web へ。

#7 [dept] 停電対応

21:00 開始予定。

21:20 終了。お疲れさまでした。

#8 帰り

原付。松八でばんめし。
換気扇フィルタを持って帰るのを忘れた…orz
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2007年08月12日() [n年日記]

#1

暑かったけど風があったので、窓を全部開けっ放しにすればクーラーなしでも 家の中で活動できた。 というわけで寝具も含めて洗濯、布団干し、フィルタを付ける前に換気扇の掃除。 マジックリンの強力さを再認識した。

#2 [book] 『カンブリア宮殿 村上龍×経済人』

水風呂に漬かりつつ読了。面白かったけど、 対談を文章に起こしたもので、 かつエッセンスを抽出したものだけなので、 やや物足りない。 といって毎週 TV を見るのもつらいからのう。

まあ番組出演の依頼・承諾のところまででフィルタがかかっているだろうけれど、 どの出演者も基本的にポジティブで話が面白い。 この種の人間的な魅力と「科学的な努力」を積み重ねているところが 成功の理由の大部分である、という村上龍の述懐はスルドい。

#3 今日の英会話上級

Passage のレビューでは obfuscation を落とす。 Zero in on the Unit のレビューは、Other than, Bear in mind, spell out, avail, identify, How nice…と悉く落す。だめすぎ。

#4 行き

原付。小金井大勝軒でつけめんを食ってから大学へ。 宵が暗くなった。

#5 電源復帰

エアコンを入れ、冷蔵庫 (冷凍庫) の霜解け水の掃除から。

XPS 復帰。どうも RP の音がでかい。 そろそろこいつもオーバーホールが必要かも。

5F に戻って各サーバを起動。某研究室のが一台、 どうも電源周り (多分コンデンサ) がやられたくさく、起動しない。 本件は所有者にご連絡。南無ー。

UHVSP。ミニチュアゲージの球に交換して 22:50 より排気開始。 ケーブル接続、linux マシンとの通信も確認。こっちは明日ベークの方向か。 ICF70 のガスケットがちょうど最後の一枚だった。危なかった。
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2007年08月13日(月) [n年日記]

#1 帰り

原付。グルメシティに寄ったら男前豆腐があったので、 カンブリア宮殿の影響というわけでもないが買って冷奴で食ってみた。 確かに美味い。しかし値段も倍か。

そしてまた換気扇のフィルタを持ち帰るのを忘れた…

#2 DONE

#3 行き

原付。うむ夏休みっぽい天気だ。

#4 [labo] UHVSP

8E-6 Pa。まあ順調か。 ベーキングの準備作業は来てくれた星くんに依頼。

というわけで 16:30〜24:30 までベーキング。

#5 [labo] ガスケット発注

fax した。

#6 [paper] 今日拾った論文 (JVSTA 25(2,3), JAP 101(5))

なんか JVSTA の alert mail も捩れていた (issue 3 のが 3 月と 5 月に 2 度来た) が、まあいいや。

Crystalline alumina coatings by reactive ac magnetron sputtering:

通常の planar な MS だと α-アルミナは 1000K 以上の基板温度が必要だが、 dual inverted cylindrical magnetron と AC 電源を使うと結晶ができるんやで、 という話。DICM は ref 16 によれば、向い合わせた MS のまん中に基板を置いたような格好。 酸素流量を増やして成膜速度が遅くなると、 SIMS で見た O/Al が 1.5 以上になり H content が多くなる。 ので水素重要、と言ってるが、どうだかなあ。

Influence of the external solenoid coil arrangement and excitation mode on plasma characteristics and target utilization in a dc-planar magnetron sputtering system:

マグネトロンの外部に 150G 程度までかかる外部ソレノイドコイルを置いて 電流とか erosion track のかたちとかを見た話。Kadlec さんが昔やっていたような。 中央部は移動するけど、あまり均一性が向上したようには見えん。

Quantitative evaluation of film thickness uniformity: Application to off-axis magnetron source onto a rotating substrate:

幾何計算。off-axis ってのは FTS ではなくて、基板がずれてるときの話。

Sputtering yield measurements at glancing incidence using a quartz crystal microbalance:

QCM で測ったスパッタ率のイオンエネルギー依存性、入射角依存性など。 校正法なんかも書いてあって面白そう。 提示されているのは Xe→Mo, Ar→Cu, Ar→W の 80〜1000 eV の normal incidence, および Xe→Mo の 300, 500, 1keV における 0〜80度のデータ。

スパッタのレビューとして ref8 。これは拾うか買うかしておこうかな。58 ページが $30 なら安い気がする、 ってのは感覚が麻痺しているだろうか。

Cryotrapping assisted mass spectrometry for the analysis of complex gas mixtures:

炭化水素系の混合ガスの m/e の近いやつの弁別に、 窒素温度における吸着確率の違いを利用しようというアイデア。 トラップを間に挟み、窒素が満ちるまでのシグナルの時間変化を使いましょ、 ということらしい。ちょっと面白い。

Sticking probability of Ti atoms in magnetron sputtering deposition evaluated from the spatial distribution of Ti atom density:

名大の Nafarizal さん、佐々木先生。 Ti の壁面近くの LIF による密度分布から、 拡散状態にあるとして、粒子の付着確率を Chantry の式で導出したもの。 いつぞや応物でお聞きしたやつ。 求められた付着確率は 0.9±0.2。 聞いたときはもうちょい小さかったような気がするけど…

Competitive growth of Ta nanopillars during glancing angle deposition: Effect of surface diffusion:

これ と同じ著者。こっちはパターンが同じで基板温度を変えたもの。 900 ℃までいくと pattern が潰れて見えなくなる。 まあ振ってるパラメータが違うから二重投稿ではないけれど、なんだかなあ。

Anisotropic resistivity of thin films due to quantum electron scattering from anisotropic surface roughness:

ガラス基板に φ1/4um のダイヤモンド粉で一方向に傷を付け、 〜200nm のプラチナを Filtered Vacuum Arc で漬け、 in situ で縦方向・横方向の抵抗を測って膜厚依存性にしたもの。 Fishman-Calencki のモデルにある散乱の相関長と AFM で測った表面粗さとの関係を議論していたり。 斜めスパッタで作った groove でやってみても面白いかも、とちょっと思った。

Reflection rules preserving molecular flow symmetry in an arbitrarily shaped pipe:

アルバック楠本さんの、コンダクタンス対称性と散乱角異方性の話。 昨秋の連合講演会での話かな。これ真空誌の方には投稿されてたっけか。

Zinc deposition experiments for validation of direct-simulation Monte Carlo calculations of rarefied internal gas flows:

背景ガスとして Ar を 3E-2, 9E-2, 0.25 Pa または He を 9E-2 Pa 入れた容器で Zn の Hot wall depo をした話。Si に 4cmφ の hole を開けた仕切りを 2 枚入れ、 膜厚を実測して DSMC におけるシミュレーションと比較した話。 やっぱり付着確率とソース温度の分が uncertainty になって、 まだちょっと難しいかもね、という結論。Zn だと難しいというのもあるかも。

Effects of the deposition parameters on the growth of ultrathin and thin SiO2 films:

酸素を入れない RF スパッタで Si 上に SiO2 の薄膜を作った話。 0.54 Pa、ターゲットのサイズが書いてないけど 100W、基板温度は 200〜500 ℃で、 1〜60 分堆積、AFM, 分光エリプソ、 んで XRR を REFSIM というソフトウェアパッケージで処理して porosity とその層の厚さ評価。 5〜10 nm 前後で island like から columnar like へ、その厚さは温度によって異なる、と。 いろいろやられているけど、ストーリーがいまいちピンボケな印象。

Effects of deposition parameters on the structure of AlN coatings grown by reactive magnetron sputtering:

最初の と同じグループ、同じ装置。化合物モードでの depo。 光学透過率、XRD, SEM, SIMS 測定。 背景圧力は 1E-4 と 4E-4 (ってなんで違うの?)、 酸素不純物は 1E18 cm^-3 のレベル。

Interface microstructure engineering by high power impulse magnetron sputtering for the enhancement of adhesion:

HPPMS で Cr 層を着けたあと、CrN/NbN 多層膜を積んで付着力を見た話。 製膜中の energy profile、EDX で組成分析、XTEM で界面分析。 Ar プラズマ処理・Cathodic Arc での Cr 中間層と比べ、付着力が増したとのこと。

Nonisothermal chemical model of reactive sputtering:

化合物生成についていろいろ議論されているが、 まあ基本的には基板と壁とで温度が違い、reaction yield (sticking coefficient) が異なる場合の話、と思っていればよさげ。

Heat treatment of metal-capped SiO2 films containing Si nanocrystals:

Si/SiO2 ターゲットから depo し、窒素中 1100 ℃で焼いた nc-Si 構造に Al, Pd, Pt を 10 ないし 100 nm 蒸着、 水素中での熱処理後に金属は酸で除去して PL を見た実験。 水素がうまいこと終端して PL 強度を増す、金属がなんらかの触媒として作用する、 というような話があるのだそうで。 まあ確かに強度は増してるけど、cap なしでアニールした試料がないのでなんとも。

#7 [URL] STORM System Technology

PC の BTO 屋さん。 rbbtoday の記事 経由で。OS 無しが OK な分良いかも。
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2007年08月14日(火) [n年日記]

#1 [labo] UHVSP

0:30 にベークいっぺん止め、1:00 にオーブン外して GV 閉め、ゲージのガス出し。 あとは明日か。

#2 帰り

原付。今日は夜まで暑い。東小金井の S ガストでばんめし。
そしてまた換気扇フィルタを持ち帰り損ねた。もうだめだ。

#3 ラジオ講座

録音に失敗、そうか停電の後だったから本体の電源入ってねんだ…

電源入れた。昨日の分は at job に突っこみ。

英会話上級の方は無事に録れていた。やれやれ。
ビジネス英会話もちゃんと録れた。

#4 DONE

#5 行き

原付。東小金井のモス経由。

#6 [labo] uhvsp

2 度目のベーク。分圧計の電源が入らなくなった。 ヒューズが飛んでいたので交換したのだがやはり駄目。 どうも電源に近い方みたいで自分でも直せそうだけど、 やめておく。まだ修理対応してくれるかなあ。

12:00〜24:00。1.4E-4Pa くらいになるのは、 やっぱりエラストマーのとこからの permiation か? リークでなければ良いのだが…

#7 [debian] debian-volatile

単語の間に ' とか _ を挟んで擦り抜けてくる spam が増え、 spamassassin での対応を期待して volatile を追加してみる。 key を件のページから拾って
gpg import etch-volatile.asc
して sign 関係を確認、
gpg --export -a EC61E0B0BBE55AB3 > newsig
sudo apt-key add newsig
ということで追加、/etc/apt/sources.list には
deb http://ftp2.jp.debian.org/debian-volatile etch/volatile main contrib non-free
を追加して update→upgrade。まだ spamassassin は来てなかったけど。

#8 [vsj] 講演番号通知メール

プロ委の野中さんからの query を受け、issp で作ったシステムを流用して作成。 go サイン待ち。 subject 文字列は nkf -M で作り、 ファイルに書きだすときには -j -m0 するところがちょっと嵌まった部分。

pdf を添付できないか、という再 query を受ける。 んー、mime-construct とか MIME::Entity とかでやればいけそうだけど、 ちょっと日本語 subject の絡みとか色々面倒そうなので、 本文中に URL を埋め込むかたちで勘弁していただく。

文面変更の request が追加されたので対応。ふに。

#9 [labo] issp proc 改訂

した。この期に及んでナニだが、英文校閲に出しておいた方がいいかなあ。 まあいつものとこに聞くだけ聞いてみよう。

送った。さて。

すぐ返事来た。だいじょうぶらしい。ありがたや。+Order/456〜8

#10 キーボード死亡

長らく愛用していた FUJITSU FMV キーボードが死んだ。 Date 1995-4 ってそりゃまあ死んでも文句言えないか。 研究室に転がっていたもののうち、タッチがやや似ていた DEC のに替えたが、 近々買いにいかないとあかんな。ヨドバシ?

しっかしなんか今日はいろいろツイてないなあ。

#11 [paper] 今日拾った論文 (PRL 98(12), APL 90(12), Vacuum 81(8), SCT 201(15))

SCT は ion を使ったインプラ・デポの国際会議の proceedings。 いろいろ面白そうだったのだけど、やっぱりちょっと敷居が高くて拾わず。

Correlation between electron and negative O− ion emission during reactive sputtering of oxides:

酸化物反応性スパッタでターゲットの放電電圧とか SEE を測ってた Depla さんたちの。こんどは O 負イオンのシグナルを測って、 SEE との間に正の相関があるとのことで。PDP 応用への指標になるんでは、とのことで。

Modeling and simulation of the plasma absorption probe:

プラズマ吸収プローブ。菅井先生のところでやった仕事みたい。 電磁場の方程式を COMSOL という FEM プログラムで解いている。

Simultaneous measurement of potential and dopant atom distributions on wet-prepared Si(111):H surfaces by scanning tunneling microscopy:

AIST の MIRAI のグループ。 p 層に As+ をインプラして面内 pn 接合を作り、 STM/STS でキャリア欠乏とかドーパントイオンを見たりとかした話。 さすが像が綺麗。

Photoluminescence characterization of Zn_1−x Mg_x O epitaxial thin films grown on ZnO by radical source molecular beam epitaxy:

これも AIST 筑波。x が 0.05, 0.11, 0.15 のを作って 1.4K での PL 測定。 0.15 の方が強く光り、かつ高温まで持つ。 エキシトンの局在も強そうだとのことで。

#12 [paper] Google Reader で拾った論文 (PRB 76)

Engineering silicon nanocrystals: Theoretical study of the effect of codoping with boron and phosphorus:

nc-Si への 1〜2 原子ドーピングについての計算結果。光学特性絡みの話。 DFT のパッケージに QUANTUM-ESPRESSO っていうのがあるんだそうで (ちなみにこちらはイタリアのグループ:笑)。 しかしどう入れるかが問題だ。

Adsorption of gold clusters on metal-supported MgO: Correlation to electron affinity of gold:

Mo でサポートされた MgO (3ML) 上に乗せた Au クラスター (1〜6ケ) の電荷状態を DFT で計算した話。 こないだのやつ と言い、そういうトピックがあるのかしらん。

#13 [URL] 涼しげな画像・壁紙くれ

そういえば今のデスクトップも 長いこと 変えてないので Six Sisters in San Francisco から Driftin' にした。またか。
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2007年08月15日(水) [n年日記]

#1 帰り

原付。やっとフィルタを持ち帰った。

#2 TODO

#3 今日のビジネス英会話

mandate 指示する、命令する [→mandatory]
fixture 備品、設備、定番
pinpoint ピンを刺して〜の位置を示す、目立たせる
pep talk 激励の言葉、檄
muscular 筋肉の
aches and pains 疼きや痛み
requisite 必須の、必要な (n 必需品)
prerequisite 前もって必要な (n 先行条件、基礎必須科目)
lighten up 元気づける、緩和する

#4 行き

原付。うへこれはまた暑い。ケーヨーでヒューズを購入。

#5 [labo] UHVSP

3E-6 Pa。まだちょっと高いけど、一度この状態で製膜。7:15 終了、 イントロに戻すところまで。

#6 [vsj] 夏季大関連

演習問題・ノートを準備。やっぱり revision control が必要だ。

いただいたコメントをそれぞれ反映させて事務局へ。

#7 [labo] QIG-066 の件

こちら からフィールドサービスのメールアドレスへ内容を送信。

#8 [paper] 今日拾った論文 (PRL 98(13), APL 90(13), JAP 101(6), RSI 78(3), JVSTB 25(2))

RSI には FIM & "atom probe tomography" の invited review。
JVSTB は 19th Intl Vacuum Nanoelectronics Conf. の proc。
JJAP p1 の 3A, 3B が残ってるけど、これで gmail に来てる alert の分は 3 月末まで catch up。

Electrochemical preparation of a rugate filter in silicon and its deviation from the ideal structure:

京都大のグループ。電流を変えて作った PS 層の屈折率の異なることを示し、 電流に時間変調をかけてフィルタ構造を作ろうという話。 安定してできてるみたいだなあ。こちらは O リングシール。

Effects of grains' features in surface roughness scaling:

膜のグレインサイズとスケーリング測定について。 例えば square wave の膜、あるいは spherical cap を持った grain からなる膜などについて解析的な扱いをして、w∝r^α のαがほぼ 1 となるっつー関係が導けるよ、 という話。んでαの折れ曲りがだいたいグレインのサイズを示すんやで、とのことで。 α2が KPZ で予測される値に近いよ、と言ってるのだけど、 これの効果ってグレイン境界で構造断絶があるとすると保存されるのかなあ。 ってのはちゃんと読まないとだめか。

Low temperature magnetron sputter deposition of polycrystalline silicon thin films using high flux ion bombardment:

UBM による Si のデポ。アモルファスな SiO2 基板に 450℃ 以下でポリシリができたで、という結果。 イオン比を変えるとアモルファス Si の中間層がなく、 いきなりポリシリになってるような膜もできるのだそうで。

mproved near-infrared transparency in sputtered In2O3-based transparent conductive oxide thin films by Zr-doping:

AIST のひとたち。In2O3 に Zr をドーパントとして入れて TCO にしようという話。 In2O3 と In_1.9 Zr_0.1 O_3 の各セラミックターゲットを 反応性 RF スパッタ (O2 分率 0.38%) して作っている。基板温度は 450℃。 XRD と各種伝導特性評価、透過スペクトル。 In:Zr=1-x:x の x が小さいところでは μ が 80cm^2/Vs以上、 x=0.022 で ρ=2.6E-4 Ωcm の膜ができた、とのこと。

Studies on the room temperature growth of nanoanatase phase TiO2 thin films by pulsed dc magnetron with oxygen as sputter gas:

pure O2 中で Ti ターゲットからパルス放電 (MDX sparc-LE20) で TiO2 を作った話。 O2 圧を変えて XRD とか H 入れたときの electrochromic とか。 (0.9-7.2)E-2 mbar の範囲で、圧が高い方が良い結果になってる。

High-temperature residual stresses in thin films characterized by x-ray diffraction substrate curvature method:

Si 基板に TiN とか Al を張った膜を片持ちにしてランプで温度を調整、 こいつを位置をずらしつつ XRD にかけ、Si(004) のロッキングカーブスポットから 基板のそりを決定、Stoney の式で stress を、という話。うーんどうなんだこれわ(^_^;

Application of high spatial resolution scanning work function spectroscopy to semiconductor surfaces and interfaces:

micro オージェの secondary electron のところから仕事関数のマッピングをしてみようという話。GaAs や SiC の pn 接合の観察に応用。なるほど。

Work function of low index crystal facet of tungsten evaluated by the Seppen-Katamuki analysis:

後藤先生の。W の FEM 像の電圧電流特性から、各面の仕事関数を決めたお話。 Seppen-Katamuki ってこちらのグループがオリジナルだったのか。 不明にもしらなんだ。
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2007年08月16日(木) [n年日記]

#1 帰り

原付。幸楽苑で晩飯。家の中が暑い。

#2 夏休み

考えてみると 8 月で入ってから大学に行ってない日がなかった (半休とかはしたけど) ので、 ちょっとは夏らしいことをしてみようということで一日休みをいただく。

#3 8/28 皆既月食

たつをさんのところ から。見ねば。

#4 高尾山ビアマウント

ということで行ってきた。ちょうど通り雨があったようで、 納涼の効果は抜群だった。 料理とビールの水準は余り高くない (セルフサービスなので、 どうしてもジョッキが温まって温度が高くなる等々) けど、 話のタネに一度行ってみても良いんじゃないでしょうか。 ちなみに行くなら日没前後がおすすめ。 日が落ちると真っ暗になっちゃうし、夜景が見える席は限られているので。

しかし下界に降りてきたらやっぱり暑くてゲンナリした。

#5 Wrinkles reveal elastic properties of a thin film

液体上に浮かせた膜に水滴を落として生成した wrinkle から 膜の弾性についての情報が得られる、という話らしい。
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2007年08月17日(金) [n年日記]

#1 [vsj] 夏季大演習問題

small fixes。Makefile 作っといて良かった。

#2 今日の英会話上級

月曜の。
infusion 注入 [opp. effusion]
melange (仏) 混合物、ごたまぜ [ちなみにメレンゲは merengue]
veneration 崇拝、尊敬
indegenous 固有の、特有の
predilection 偏愛、愛着
laudably 感心するほど [→laud 賞賛]
jet set ジェット族
assimilate 吸収する、同化する
deep-seated 深い座りごこちの、深く根ざした、底深い
abandon 〜 for … 〜を捨てて…に変える、転向する
be blessed with 〜の恩恵をこうむる、〜に恵まれる
(副詞)-minded 〜指向の、〜派の [n -mindedness]

#3 今日のビジネス英会話

水曜の。
produce 農作物 (stress on 1st syllable)
colon cancer 結腸(大腸)がん
stroke 脳梗塞、脳卒中
be deemed likely to 〜する可能性があるとみなされる
ward off 〜を回避する、〜を防ぐ
prostate cancer 前立腺がん
cardiac disease 心臓疾患
mental decline 知力の衰え
reap the benefits of 〜の効用を得る、〜の恩恵に預る
take aim at 〜に狙いを定める
knockout 大当り、すごい美人 (美男)
cumulative 累積の、蓄積の、度重なる
confer 協議する、相談する、打ち合わせる
amass 蓄積する、集める [〜compile]
garner 集める、収穫して蓄える

#4

涼しくなったのでエアコンを止めたのだが、 やはり日が昇ると駄目 (ってそこで起きれば良いのだが) で、 再び入れてまた寝る。そして寝過ごした。

#5 行き

原付。また暑くなった。

#6 [labo] uhvsp

星くんに HF 処理をしてもらい、基板交換。 取り出したやつは XPS へ。 最初試料のところの電位接続を間違えていてボケたスペクトルが出てぎょっとするが、 星くんに指摘を受けて接続し直して事無きを得たり。

19:00 に終了。まあ普通にできていたみたい。

#7 日経平均株価が暴落、今年最大の874円安

これは凄い。ドルが 112 円を割り、ユーロが 150 円を割ったちうのも相当凄いな。

#8 [vsj] 講演会通知

送信。やはり配送エラーがちらほらと。 そういえば issp のときは全然なかったな。

#9 [debian] DSA-1356 linux-2.6

うへ。どうせなら停電前に来てくれていれば良かったのに。

#10 [book] 最近読んだ本

まとめてみる。

『うまいもの・まずいもの』:

赤瀬川原平・東海林さだお・奥本大三郎が適当に喋り倒している対談本。 このひとたちが面白いのは、 わからんことをそのままわからんと言って会話を続けるから (そのくせ知ってることの量は半端でない) ではないかという気がする。

『美しい国へ』:

OB だしあまり悪いことを言いたくはないけれど、 論旨が捩れていたり切れていたりしてどうにも。 年金のところに関する下りは話の筋が通っていた気がするが、 でもまあ足りなくなったら給付率下げるぜ、税金注入するぜ、 ってことだよなあ。

『とてつもない日本』:

こっちは (考え方に対する賛否はともかく) 面白く読んだ。

鋼の錬金術師 17:

この構想が連載当初からあったのだとすると (あったのだろうなあ)、 著者のストーリーテラーとしての力量はもの凄い。

スレイヤーズ SP 29:

もはやお約束だらけだが、毎回値段分は楽しい。

#11 [receipt] 紀伊国屋 BC 1,485 円

#12 [vsj] 夏季大演習問題

紛糾 (というほどでもないけど) した問題を解いてみるテスト。 ちょっと面白い結果に。

#13 [paper] 今日拾った論文 (JJAP p1 46(3A,3B))

ということで 3 月分まで終わり。3B は Active Matrix Flatpanel Display の特集。

Diffusion Coefficient of Hydrogen in Silicon at an Intermediate Temperature:

Si 結晶に水素が含まれていると Thermal Double Doner によってキャリアが増える、 というのを利用して水素の拡散係数を 429〜800 ℃見積った話。 昔このへん坂本さんのとこで計算しておられたような。

Townsend's Secondary Ionization Coefficient of MgO Film in Ar and Electron Reflection at the Surface:

千葉工大のグループ。MgO 電極の Ar 中放電について、 電極表面で電子が反射する効果を Monte Carlo で調べた話。 励起断面積の引用文献が引いてあったり。

Defect Reduction in Polycrystalline Silicon Thin Films by Heat Treatment with High-Pressure H2O Vapor:

農工大と AIST のグループ。越田先生とは別のところみたい。 CVD で作った 50nm のアモルファス Si を 13 気圧 260℃ で処理。 Raman, SIMS, んで spin density の減少の時間依存性→温度 plot で活性化エネルギー、フォトコンダクティビティの上昇、などなど。

#14 [paper] Google Reader で拾った論文 (PRB 76)

Coarsening of ion-beam-induced surface ripple in Si: Nonlinear effect vs. geometrical shadowing:

30keV の Ar+ を 60〜70度で Si に入射させ、ex-situ AFM で ripple を見た話。 飽和波長はあまり角度によらない→thermal diffusion 込みの計算結果と一致、 波長・振幅の時間発展は shadowing が効いてくると一定に、などの結果。
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2007年08月18日() [n年日記]

#1 帰り

原付。ぱらぱら〜やや本降りの雨。涼しくなるといいが。 松屋でキムカル丼+生野菜+冷奴の晩飯。

#2 気温

下がった。エアコンなしで昼まで熟睡。

#3 行き

バス電車歩き。ヨドバシ経由。 歩くとやっぱり暑い。うぬ。

ヨドバシ吉祥寺:

キーボード物色。 特に金を惜しむつもりはなかったのだが、結局タッチで選んで buffalo の 980 円のにした。 その他フロッピーディスクなど。ポイントカードも作ってもらった。

W53CA も見てきた。「25 ヶ月以上」というのは日付ベースで良いのだそうで。 じゃあ夏季大から戻ったら買うかなあ。

#4 DONE

carry all over.

#5 キーボード

うーん、やっぱりどうも合わない。 FMV-KB324 が安かった のでこちらで買ってみる方向で。

#6 [paper] Google Reader で拾った論文

Organization of size-selected platinum and indium clusters soft-landed on surfaces:

直径が 5.79nm の In (Pt) クラスタを気相中蒸発で作り、 帯電させてマスフィルタでせんたく してアモルファスカーボン・ グラファイト上に着けて TEM 観察した話。 島のサイズ分布の離散的ナピークから接触角の推定とか、 サイズ分布をモデルと合わせて cluster dimer が拡散してるっぽいとか、 Pt の場合は cluster 間に repulsive な力が働いているっぽいとか。

#7 [paper] 今日拾った論文 (TSF 515(13), JMR 22(4), PRL 98(14), JJAP p2 46(12-16), APL 94(14), JJAP p1 46(4A))

Bi-stable pore size during electrochemical etching of n-type silicon during a thermal ramp:

n 型 Si 試料の backside illumination 下での陽極化成時の温度とマクロポーラス (〜um) のできかたの関係について。あるところで急激にできてきたりするんだそうな。

Physical properties of erbium implanted tungsten oxide films deposited by reactive dual magnetron sputtering:

LBNL の Anders 先生のとこ。WOx に Er を打込むと、O vacancy ができるのではないかと。アニールの効果とかも。

Effects of applied substrate bias during reactive sputter deposition of nanocomposite tantalum carbide/amorphous hydrocarbon thin films:

TaC, a-TaC:H の反応性スパッタにおける基板バイアス (〜-300V) の効果。 XRD で grain size とか、stress, hardness の評価とかをしている模様。

The dependence of the nanostructure of magnetron sputtered Cu-Ag alloy films on composition and temperature:

タイトルの通り組成を変えてスパッタした Cu-Ag 合金膜を XRD で見た話。 1 inch の UBM ターゲットがふたつ、0.5 Pa で DC power 比を変えて 16〜76 at.%Ag の膜。 基本的には Ag(111)、Cu(111) にそれぞれ Cu, Ag が入ってシフトしたピークが 見えている。混ぜこむとグレインが小さくなって過飽和度が上がるとか、 実はピークが見えるまでちょっと時間があるので最初はアモルファスなんじゃないかとか。

Analysis of Dynamics of Excitation and Dephasing of Plasmon Resonance Modes in Nanoparticles:

ナノ金属粒子に立つ表面プラズモンのモードと、外部光による励起・減衰について、 古典電磁気学の範囲だけど扱った話。Drude 金属の場合は解析解も導けるとのことで。

Photoluminescence Imaging of Multicrystalline Si Wafers during HF Etching:

太陽電池向けの multicrystalline Si wafer つーのの評価 (少数キャリアの寿命) に PL を使おうという話。HF ディップすることによって表面での再結合を減らし、 高速測定が可能になったと。

Atomically Stepped Glass Surface Formed by Nanoimprint:

東工大吉本先生のところ。原子ステップのあるサファイアをモールドにして、 シリケートガラスにナノインプリントをした、という話。 1-3 kPa, 580〜600℃ 1h。 サファイアを上にするかガラスを上にするかでパターンが変わったとのこと。 膨張係数が影響しているのでは、ということだけど詳細はまだ。

Photoluminescence from Si Nanocrystals Embedded in In2O3/SiO2 Glass Thin Films:

Si, SIO2, In2O3 のコスパッタ→窒素中 1150〜1250℃アニールで作った試料の EPMA 測定、PL 強度・decay 測定。 Excess Si が 6.3 at.% では、In が多いと PL が強くなり、decay は変化せず。 1.4 at.% では、In が多いと PL は弱くなって decay も短かくなる。 前者は In によってマトリックスの欠陥が緩和され、たくさんの nano-Si が生成されたせい、後者は In による recombination が発生したせい…という解釈。

#8 [labo][dept] サーバ再起動

この件 の絡み。まだ sarge のは関係ないけど。
tulip の読み込みは比較的初期なので、 メッセージが流れ出したら即ズバっと LAN ケーブルを挿してしまうくらいで丁度良いみたい。

#9 帰り

バス電車歩き。またちょっと雨。国分寺スタミナ飯店で B セット。
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2007年08月19日() [n年日記]

#1 今日の英会話上級

水曜の。むー。
exhilarate 浮き浮きさせる、陽気にさせる
swindler ペテン師、詐欺師
dainty 可憐な、品の良い
gruff-sounding 粗暴な話し方の、べらんめえ調の
portray 演じる
picturesque 絵になる、絵のように美しい
enamored 惚れこんで、夢中になって
observant 観察力の鋭い
Pardon my 名詞 (動名詞) / Pardon me for 〜ing 〜して失礼ですが
revolving 回転する、回転式の

#2 休み

木曜遊びにいっといてなんだが休み。

#3 [exercise] ブートキャンプ

少し前に Elite を買っておいたので、"Get Started" をちょっとやってみるテスト。 一度水分補給で一時停止したが、なんとかついていけた。 ありえない発汗、そのまま水風呂へ。

このへん によると、 7 Days Success PlanLowerbody & Cardio を買えばだいたい揃うのか?

#4 今日のビジネス英会話

金曜の。
nutrient pill 栄養剤
soar 急増する、急上昇する
dump on (〜に) 転嫁する [cf offload / 押しつける]
be complicated by 〜によって悪化する
drive up 〜をつり上げる [cf jack up]
craze 大流行、熱狂 [cf fad]
canteen (社員)食堂、軽食堂、売店
scarf down 〜を飲み下す、がつがつ食べる
countermeasure 対応策、対抗策
in the hope 〜を期待して nut 木の実 / ナット / 熱心な愛好者 / 堅くて割れないもの / 気違い、奇人、変人

#5 洗濯

した。
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2007年08月20日(月) [n年日記]

#1 今日の英会話上級

金曜の。
bona fide 真実の、真正に [opp. mala fide]
spare 容赦する、勘弁する
What's 〜 all about? 〜ってどういうことなの?
calamity 苦厄、災難
deity 神、神格化された人
the deceased 故人
veneration 尊敬、崇敬
ancestral tablet 位牌
altar 祭壇、聖餐台、仏壇

#2 行き

原付。暑い。大澤自動車さんに車検点検費用払いこみ。 そろそろオートマのギヤボックスがヘタってきているかもしれんとのことで。 さすがに買い替えどきですかねえ、などという話をする。 網代にはこれで行くけどな。

珍珍亭:

というわけ で行ってきた。油そば。 元祖らしく具はメンマとチャーシューのみというシンプルな構成だが、 個人的には宝華や丸善みたいに口をさっぱりさせるカイワレとかもやしとかがあるほうがいいかな。 麺は中太の縮れ麺。美味しかったけど後半やや飽きた。

#3 [labo] uhvsp

水蒸気導入。1E-4 まで入れて安定させてから普通に製膜。 着けた後の圧力は、なかなか前のレベルにまで戻ってこないけれども。ふむ。

#4 日刊工業新聞

一面にポータブルな真空容器。1E-8 Pa 台で運べるとのこと。へー。 イーオーアールって こちら かな。記事の内容はまだ載ってないけど。

#5 [dept] 工藤研の GW

サーバの HDD が潰れた模様。 コンサルをしてブロードバンドルータを買ってきていただき、設定のお手伝いまで。

#6 国産解凍ツール「LHAZ」の脆弱性を狙うゼロデイ攻撃

てんこうさんのとこ から。最近の LHA 関連はちょっと気をつけないといかんのう。

#7 [paper] Google Reader で拾った論文 (PRB 76)

Comparison of hard and soft x-ray photoelectron spectra of silicon:

MgKα で励起した Si2p の光電子と、5925eV で励起した Si 1s の光電子とで、 電子の非弾性 MFP とか、どのくらい energy loss するかとかを考慮して XPS スペクトルをモデルで再現した話。 プラズモン励起・e-p ペア生成のどっちが効いているか、とかの議論も。

Immersion structures of monovalent metal adatoms on Ag/Si(111)sqrt(3)×sqrt(3): First-principles study:

2 次元電子ガス状態を実現する系として有名な Si(111)-√3×√3 Ag に、 1 価の金属 (Au, Cu, あと Li, Na, K などのアルカリ金属) をくっつけるとどうなるかの第一原理計算。 実験では、"star" とか "propeller" とか、多くなると√21×√21 とかの構造が観察されているのだそうで。 吸着原子が 2D ガスの層に沈むかどうかは原子半径に依存、 star 構造は 1 原子、propeller は trimer による構造では、 などの結果が提示されている。

#8 [paper] 今日拾った論文 (PRL 98(15), APL 90(15), SCT 201(16-17), JAP 101(7))

Buckling modes of elastic thin films on elastic substrates:

膜と基板の弾性定数 (つかヤング率) の比によって、 wrinkling になるか buckling (delamination) になるのかを考えてみましょ、という話。 実験は PS 膜を PDMS (ポリジメチルシロキセン) 基板に 着けた膜のヒートサイクルによる wrinkling の例。

Polarity inversion in aluminum nitride thin films under high sputtering power:

AIST 佐賀と DENSO のグループ。反応性スパッタによる AlN 製膜。 75mm のターゲットに Al で 100〜500 W @500W の rf パワーをかけて、 XRD、分極、AFM/PFM を取った話。AlN では power 増加につれて N polarity から Al porarity になり、分極率が -2.7→4.3 pC/N になったとか。 Al リッチな環境だと Al polarity な膜になりやすいつー計算があるのだそうで。

Effect of surface roughening on femtosecond laser-induced ripple structures:

徳島大のグループ。 レーザーによる ripple 構造は、もともとは波長と同程度の構造だったので干渉の効果と思われていたらしいが、femtosecond なやつだと 1/3〜1/5 のができるので、 それはなんでじゃろ、という議論がされているそうで。 これは 4C-SiC を対象に、照射前の表面粗さとの関係を見た話。 粗さによる光電荷生成の偏りが ripple に影響してるんでは、との提案。

[TBO] Effects of the substrate to chamber wall distance on the structure and properties of CrAlN films deposited by pulsed-closed field unbalanced magnetron sputtering (P-CFUBMS):

Colorado School of Mines と Sproul さん、Rees さん。 UBM のパルススパッタで、T-S を変えながら Hiden の energy analyzer + mass で IED、 得られた膜の各種物性との対応を議論しているらしい。 Closed field UBM ってなんだろ。

In situ stress evolution during sputter deposition of Cu/Co bilayers and multilayers:

SiO2 上にスパッタした Cu/Co の 3〜10 nm period の多層構造の stress を基板 bending で観察、単相の SEM 観察と比べて議論した話。 濡れ性 (Cu は Co を濡らすが Co は Cu 上で 3D island になるとか) や lattice mismatch の影響とか。

#9 帰り

原付。まだ暑いね。 富士ランチでばんめしにしようと思ったがやってなかった。 しょうがないので生協で練り物買って家で焼いて食った。
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2007年08月21日(火) [n年日記]

#1 今日のビジネス英会話

discrimination issue 差別の問題
dictate 指図する、命令する (書き取らせ、口述する もあり)~ drive forward 〜を推進する [propell 〜 ahead]
llinchpin 要 [輪止めのピン、から]
off the top of one's head 思いつきで
culinary delights おいしい料理
prep up 〜を準備する [prepare のくだけた表現]
chew the fat 論じる、気楽に喋る
broach the topic その話を切り出す
nutritionist 栄養士 [= dietitian]
linstitute 制定する chow down [米口] 食べる
honcho [米俗] ボス、リーダー [「班長」から]
touchy (扱いなどが) 微妙な、怒りっぽい
bestow on 〜に授ける
cadre 核となるグループ、幹部要員
off the cuff 即興で、準備なしに

#2 [exercise] 今日のブートキャンプ

Elite の "Rock Solid"。腹筋シヌ。

#3 行き

原付。今日も暑い。

#4 [labo] uhvsp

試料取り出し…と思ったら搬送せずにイントロをリークしてしまった。あほか。
30 分排気してこんどこそ取り出し、XPS のイントロへ。色は綺麗だな。

#5 TODO

最後に残った 1 件は hns の todo ファイルへ移動。いつやるんだろう…

#6 [vsj] 編集関連

2 件ほどにボチボチと対応。

#7 [labo] QIG-066 修理

担当早瀬さんに電話をいただく。 コントローラを No-3136B の分析管と共に送れとのこと。 送り先は fax してくれるらしい。 いま uhvsp についてる方の管なので、 来週 VP に交換作業してもらうときに外して送る方向で。

ていうかどう考えても問題があるのはコントローラなのだがな…

#8 [labo] 分注器

見積を依頼。

#9 [issp] web と某件

メールした。泥縄もいいとこだが。

#10 荷造り

つか持っていくもののまとめ。 車だからあまり重さを考えなくてすむのは助かるな。 あとは notesall.pdf の印刷終了待ち。

終わったので帰り。やれやれと。

#11 帰り

原付。富士ランチに再チャレンジして成功。
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2007年08月22日(水) [n年日記]

#1 今日の英会話上級

acolyte 侍祭、(宗教儀式などの) 奉仕者
coax 〜 to do, coax 〜 into doing 〜をなだめすかして…させる
Sure thing! もちろん! What's gotten into you? どうしちゃったの? [何が憑いたの?]
supposedly 普通は〜と思われている
homage 尊敬、敬意 [pay homage 参詣する]
rosary ロザリオ、数珠

#2 出る前にやること・忘れ物注意

すべて完了。

#3 [vsj] 夏季大初日

では行ってきます。今回は自宅から車で直行。

東名川崎までは順調に到達、気分良くドライブしていたのだが、 小田原厚木道路あたりから、ガクっとパワーがなくなる現象が頻発。 大澤自動車さんが言ってたの はこれか。 どうもトルクをかけるとミッションがスコっと抜ける感じで、 あわてて O/D を ON/OFF したりアクセルを吹かしたりするとまた繋がる。 これは、特に後続車がいる場合には、かなり怖しい。 おまけにバッテリーもヘタってきて、 西湘バイパス下りたあたりから、 ミッション抜けのときにエンストまでするようになってしまった。 ということでエアコンは停止、 いつでも止まれるよう真鶴道路・ビーチラインは回避、山道を進む。 実際数回止まり、ニュートラルで充電する破目になった。本気でヤバかった。 スタンドを見付けたのでバッテリーは交換、しかしミッションの件は直らず。 エアコンは切ったまま進行、熱中症寸前でなんとか宿に辿り着いた。 予定より 1h 遅れ。帰りに不安を残しつつ部屋に入る。

岡野先生の気体分子運動論は去年・一昨年とも聞逃していたので、 特に後半の輸送係数のあたりを聴講。平均自由行程の効果によって 壁面あたりでモゴモゴ、という話は これ に繋がるような。岡野先生に参考書は教えていただいたので購入の方向で。

初日の夕食後はドリル。今年は補助のみ。

その後飲み会。勢いで一升瓶を頼み、勢いで空けてしまう。 もちろん一人で頼んだり空けたりしたわけではないが、 でも 4 合くらいは飲んだかなあ。 前半は秋道さん、中盤は松田先生、後半は野中さん・齋藤先生・福谷先生と、 ここには書けないような話をいろいろ。
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2007年08月23日(木) [n年日記]

#1 [vsj] 夏季大二日目

さすがにダメージ残り。部屋で睡眠を補ったり、持参した『CODE』を読んだり。 真空計測の講義は聴講、 講義の後に部屋で秋道さんにデジタル最小読みに起因する誤差について お聞きしてみたところ、GUM という文書に書いてあると教えていただく。 これ かな?買っておくか。

夕食後に演習 II を 2h。パーティション切った演習部屋が暑い。 今日の問題は、受講生の皆さん馴染みがない分野が多かったみたいで苦戦していた様子。

終了後風呂が空くのを (受講生はグループごとに入浴時間に割当てがある) 部屋で待機、汗を流してから宴会会場へ、 もう随分遅かったのでビールのみ、 板倉さん・荒川先生と、やっぱりここには書けないような話をしたり。
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2007年08月24日(金) [n年日記]

#1 [vsj] 夏季大三日目

やはり午前はダラけて過ごす。 午後も後半になって、今年から導入された高橋さんの『プロセス真空』の講義を聴講。 特に粘性流領域の高速排気 (大気からプロセスチェンバまでウエハを 30s で導入するのだそうな。もの凄いな)、 微粒子のガス中での挙動などについて、大変ためになった。 後者についてはいくつか参考文献をフォローしておきたい。

演習 III。今日は 90 分。 コンダクタンスの計算あたりは、こなしていた人が多かったような。 やっぱり汗かいた。シャツは多めにもってきていたのだが、 それでも残り枚数がちょっとピンチに。 終了後、受講生のみなさんの問題冊子を集めて統計取り、 終了後返却…としていたら、同部屋の演習講師のみなさんをお待たせしてしまった。 鍵持っていたの自分だったよ。大変申し訳なかった。

宴会は岡本先生・福谷先生と軽く。中座して風呂、 もう一度参加しないとナニかなあと覗いてみたところ、 盛り上がっていたようだったのでそのまま部屋に戻って TV 見て就寝。
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2007年08月25日() [n年日記]

#1 夏季大最終日

起床、講義はさぼり。 最後に風呂に入ってやろうと思ったら 9:30 から清掃が始まってしまっていた。 11:00 から達成度テスト、12:00 から閉校式、 後片付けをちょっとだけ手伝って昼ご飯をいただいてから出発。

エアコンは OFF、オートマの O/D もオフ。 ミッションに優しい運転を心がける。 現象が出なかったので、 ビーチライン〜真鶴道路〜小田原厚木道路〜東名と乗って帰る。 ひたすら走行車線でおとなしくしていた。 東名川崎をスルーしてしまったので (だって出口の看板に「東名川崎」って書いてないんだもん)、用賀〜環八〜五日市街道で大学へ。 途中 O/D を試してみたらやはり現象が出た。 エアコンを効かすと不安な兆候が出たのでそれもやめ。

ということでとりあえず大学まで戻った。 しかし暑かった。
私信:すみません、荷解きしてすぐ自宅に帰ります。

ということで 昨年 一昨年 に引き続き、今年も総括的感想。

#2 帰り

車。引き続き安全運転にて。

#3 ばんめし

作るのも億劫だったので、家で水風呂に入ってから原付で出かけ、 大勝軒で特製もりそば。
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2007年08月26日() [n年日記]

#1 行き

原付。死にそうに、ではないがやっぱりだいぶ暑い。

#2 富士通キーボード

昨日到着、早速とりつけた。全く同じ型番ではないけれど、 キーのパコパコ感はほぼ同一。これだ、という感じで。

#3 [lato] dell 追加 HDD

これも出張の間に届いていた。本体は Western Digital の WD RE2 WD1600YS か。さすがサーバ向け。 pdumpfs に使う領域なので、大きい方がありがたい。 ということで WD5000YS を高城さんにお願いしてみる。 駄目だったら他で使う方向にて。

#4 [vsj] 夏季大後始末

ドリル・演習問題の解答作り。
情報を仕入れた書籍を数冊発注。

#5 [vsj] uhvsp

3E-4 での製膜実験。

#6 [issp] web の後始末

夏季大のうちに頂戴したコメントを反映。明日関係者へ確認できる…といいな。

#7 [labo] MgO 装置用ホルダ+ガン

VP 大橋さんから図面を送ってもらっていたので返信。 だいぶカッコ良くなりそうだ。

#8 中野へ

城風の伯母が送ってくださる梨が、今年は中野の兄宅へ着いた *1 ということで受け取りに原付で。夕食も頂戴して四方山話を 2h ほど。
*1: 去年はちょうど応物にあたって、勿体無いことに宅配屋さんに処分していただくことになった…

#9 帰り

そのまま原付で。暑いな。
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2007年08月27日(月) [n年日記]

#1 [exercise] 今日のブートキャンプ

Elite の Get Started.

#2 行き

原付。 あつい。 郵便局で出金したら 2000 円札が。

#3 [vsj] 夏季大後始末

二度改版。掲載。やれやれ。

#4 [issp] web 後始末

ちょっと数字が捩れたが収束した。

受賞者への確認依頼メールも発送。やれやれ。

#5 [labo] uhvsp

前回分取り出し、基板を入れてイントロ排気。 取り出した試料は XPS へ。 というところで 前回測定した データが謎の紛失を遂げていることが発覚。えー…

測定終了。酸素が入っていないなあ。ふーん。

謎の紛失はなんとなく当時の状況を思い出してきた。そういうことか。 まあもう一回測るしかないのう。

ということでもう一回測った。やれやれ。

#6 [labo] 見積依頼

ワカテックに n 型 Si (111)。

#7 [labo] issp proc

夏季大中に戻ってきていた英文校閲の結果を反映。 あとは referee へのお返事を書かないと…

#8 [URL] 「件名なし」のメールを「常識」とする若者たち

いやこれ本当にそうなんだよなあ。 携帯だとアドレスだけで「誰か」がわかるので、 その辺が背景にあるような気がするけど。

というような反応 を見ると教育の効果は上がらんだろうな、 と絶望的な気分になったりもするわけだが。

#9 [labo] MgO スパッタ装置

図面の件確認。問題の部分は現在のやつを流用する予定とのこと。 じゃあ OK ですね、ということで発注関連書類を依頼。

#10 [labo] Web カメラ (TS-MCAM)

だいぶ前 に買ったやつ。ESCA 部屋に置いてみた。 ピントが合わなくて首を捻っていたのだが、 マニュアルフォーカス だったとは思わなかった。わはは。

一応 1107A からはアクセス・閲覧できることを確認。 学内ネットワークを通して 5F から見ると、通信量で怒られたりするかなあ。

うむ、2505 からも見える。しかし proxy の切り替えがちとめんどいな。 除外アドレスの指定って .pac でどうやるんだったっけか。 これ か。うむできた。

管理用の id/pass は秘密日記へ。

#11 帰り

原付。エフエフでホルモン定食+餃子。
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2007年08月28日(火) [n年日記]

#1 今日のビジネス英会話

温泉の間のは飛ばして月曜から。
requisition 申請書、要求
whittle down 〜を減らす [slim down]
Census Bureau 米国国勢調査局
dubious honor of 〜という不名誉
notably 顕著に、特に
traffic congestion 交通渋滞 [〜 jam]
ljoin the ranks of 〜の仲間入りをする
hangout 行き付けの場所、たまり場
coin (新語を) 作る [n coinage]
circumvent 回避する、逃れる
prospect 見込み、予想、潜在顧客、候補者
be exempted from 〜から免除される [be freed from]

#2 [exercise] 今日のブートキャンプ

Elite の Maximum Power。ボロボロ。

終了後梨食った。梨うめー。

#3 行き

原付。曇っていてちょっとだけ暑くない。

#4 [labo] 冷水循環器点検

10:30 からの予定だったのだけど 11:00 からスタート。

#5 [labo] issp proc 改訂

レフェリーへの返事書き。
mkisofs -r -v -J -o fuga.iso fuga
で焼いて原稿と共に封緘。

行き掛けに北町郵便局より発送。 「速達で」と言ったら「EXパックがお得ですよ」と言われてそのように。

#6 [book] AVS へ再プッシュ

この件 反応がないままカードの請求が来てたので、avsnyc (at) avs.org へ再プッシュしてみる。 カード会社に電話して聞いてみたら、 メール・fax などの問い合わせ記録があれば異議申し立てをできる、のだそうで。 逆に言うと、簡単に止めることはできないらしい。 そういうもんかねえ。 invoice と中身が違う、一度メールしたけど梨の礫、 というだけでは十分じゃない、らしい。ふーん。

#7 [spbook] 打合せ

井の頭線経由で五反田へ、15:00〜16:50。ML を作ること、議事録を投げること。

作って投げた。うむ。

#8 戻り

新宿回りで吉祥寺へ。 ヨドバシで機種変更、W53CA へ。やっと CDMA 1X WIN ユーザになった。 切り替え待ちの間に花まるうどん、受け取ってからはバスで。暑いよ。

#9 [receipt] 交通費 1,050 円

#10 W53CA

MySyncSuiteアップデータ を反映させたら使えるようになった。 アドレス等々はだいたい移動してもらっていたのでほぼ OK、 旧機のメールは新機のデータフォルダにまでは移動できたのだが、 これはこれ以上は動かせないのかなあ (そんなことはないと思うんだが)。

というわけで意味もなくブースの惨状 (ってもっと酷い角度はあるのだが) を最大サイズで撮ってみる テスト (サイズ注意 1 Mbyte)。おお凄え、S2110W の画面にも全然収まらないや。

#11 [paper] 今日拾った論文 (TSF 515(14))

9SXNS の proceedings。

[TBO] Dynamic scaling in sputter grown tungsten thin films:

タングステンのスパッタ膜を in-situ で XRR、specular なのと diffuse なのを見て、 パワースペクトルから growth exponent をα=0.18±0.02、βを0.06±0.01 と来めた、という話。 "replication factor" というのの話がちょっと目新しいかもしれない。 うーんどうしようかな。一応マークのみ。
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2007年08月29日(水) [n年日記]

#1 帰り

原付。雨上がりで涼しくなった。

#2 行き

原付、VP 経由。ところがどっこい久々にガス欠かまして大遅刻。うう。

#3 [VP] 勉強会

30 分遅れ、コンダクタンス計算と単位変換の復習。

#4 [labo] 伝票

出した。

#5 [vsj] 真空展ポスター

うっかりしていたが〆切が 9/7 ということは応物の前に送らないとだめじゃんか。 これはやばい。

#6 [labo] 発注品

#7 [labo] 到着品

高城さんに頼んでいた内蔵 SCSI ケーブル、LTO2 メディア、 あと直接来ていただいて WD5000YS。 SCSI ケーブルは LVD 用のターミネータがついてないやつだった (コネクタはあるけど) ので、それは追加注文。

#8 本注文

amazon の wishlist から拾ったりしてブックセンターへ 15 冊。 ほんとに読むのか?

#9 [labo] 新ファイルサーバ

つーことで 160G に /boot, swap, /, /var、500G に pdumpfs、RAID1(160Gx2) に /home、 という構成になった。netboot で再度システムを入れ直し。 サーバ名は babaserv にしてみる。

ぜんぶ XFS にしたら、「grub の導入で問題が起きるかも」という warn が出た。 ので roll back して /boot は ext3 に。

babagw のパッケージリストを移植して dselect-upgrade まで。 pdumpfs の移植と、ユーザ ID の付替え (古い歴史を引き摺って 501 から始まっている) をしたいのだが、応物から戻ってからになるだろな。

pdumpfs 領域の移動については 鵜飼さんの記述 があるのだけど、ML のアーカイブがなくなっちゃってるのでパッチが入手できないな。 --date パッチはこちら ですか。symlink の問題はもう解決されてるのかなあ。

いや、 こっちのやり方 の方がラク?

#10 帰り

原付。各所だいぶ地面が濡れていたが、幸い直撃はされず。
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2007年08月30日(木) [n年日記]

#1 行き

原付。途中で合羽。しかし蒸し暑いのだな。

#2 岡田産業森島さん来研

真空技術者試験のことについていくつか聞かれる。

#3 [labo] 伝票

昨日今日の到着分を処理。

#4 [issp] web 後始末

award 受賞のお三方からの返事が出揃った。あとは公開のみ。

#5 [vsj] 夏季大後始末

解答をひとつ盛大に勘違いしていた。いかん。

#6 [labo] ポスター貼り

明日の M の中間発表の。ちょっと覗きに。

#7 [labo] XPS

ノートを取りに行ったら電源が落ちていた。 一昨日の落雷でやられた?5F でも一瞬照明が落ちたのだが、 PC とか装置のラインが無事だったから問題ないと思っていたのだが…

とりあえず IP が普通に入って無事 -10 台にはなった。 でもブレーカーが落ちてたわけではなし、サーバも無事だったしちょっと謎。

#8 [labo] uhvsp

最後に入れた基板を無駄にするのも勿体ないので 1E-3 H2O で製膜してみるテスト。

発表練習を挟んで 22:09 終了。ふむ。製膜後の圧力がやっぱり低いんだよなあ。

#9 AVS

相変らず返事がないので fax した。さて。

返信来た。しかし spam みたいなメールだなこれ (笑)

#10 [labo] 発表練習

19:00 から。3 分の発表って逆に難しいかもしれない。

#11 帰り

原付。外の方が涼しい。
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2007年08月31日(金) [n年日記]

#1 [exercise] 今日のブートキャンプ

これ がやってきたので、軽そうな Cardio の方から。 それほど辛くはないが大汗。

#2 行き

原付。小雨混じり。

#3 [dept] 修士中間発表会

9:00〜10:10 がショートプレゼンテーション、10:20〜12:00 でポスター。 さすがに全部は回れないけど、ポスター形式の方がちゃんと最後まで説明が聞けるのでいいな。

#4 [labo] uhvsp

移動の前に昨日着けた試料を取り出して XPS のイントロへ。

14:15 頃塩谷さん来研。リーク後 QIG-066 を外して梱包、 キヤノンアネルバテクニクスへ発送。 宅配の夏季〆切は 14:00 だったそうだが、 次の発送が水曜になっちゃうということで、 無理を言って突っこんでいただく。すみません。 しかし蒸し暑くて参った。

星くんと塩谷さんで作業は継続いただき、15:40 頃メインチャンバーが 無事バンに乗って出発。搭載作業は大澤くん・柴田くんにも手伝っていただく。

その後測定。どうも 4x4 でやってる領域、最初掘れてないんじゃないかと疑ったのだが、 後半になってちょっとずつ C が減ってきた…と思ったら 2x2 になって O もほとんど無くなった。うーむ謎ぢゃ。

CATX の早瀬さんには発送の旨をメール。

Si の露出も遅い。 なんかイオンフラックスが足りんだけのような気がしてきた。 つことでしょうがないから alignment 用のスリットサンプルをイントロへ。

#5 [URL] WhiteSmoke

ダイレクトメール。40000 円弱か。試用版はないかしらん。

#6 AVS

昨日のメールに返信。否定疑問文に No と答えるのは、 やっぱり日本人には違和感がある。さてどうかと。

ぐは、戻りメールの To が違ってて (よく届いたな) 自分への Cc にしくった。

#7 [vsj] 査読

というほどのものでもない軽い一本。 明日の編集会議までにということで泥縄でやっつけ。

#8 帰り

バス電車歩き。国分寺あかぎで晩飯。

#9 [receipt] ASA 国分寺 4,590 円

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以上、31 日分です。
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中野武雄 (NAKANO, Takeo) <nakano@st.seikei.ac.jp> Since 1999-10-07
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